Vi introduserer aluminiumoksydemateriale

Aluminiumoksyd keramikkKomponenter har utmerkede egenskaper som høy hardhet, høy mekanisk styrke, superklærmotstand, høy temperaturmotstand, høy resistivitet og god elektrisk isolasjonsytelse. De kan oppfylle de komplekse ytelseskravene til halvlederproduksjon i spesielle miljøer som vakuum og høy temperatur. De spiller en uerstattelig og viktig rolle i produksjonslinjer for halvlederproduksjon. Deres applikasjoner dekker nesten alt halvlederproduksjonsutstyr og er viktige komponenter i halvlederproduksjonsutstyr. Med den kontinuerlige utviklingen av halvlederindustrien vil viktigheten av aluminiumoksyd keramiske komponenter i industrikjeden bli mer fremtredende.

Ettersom størrelsen på chip -funksjonen synker, har halvlederutstyr strengere krav til komponenter, og dens tetthet, ensartethet, korrosjonsmotstand, etc. er nødvendig for å være høyere. De siste årene har innenlandske og utenlandske lærde utviklet en rekke nye prosesser for å forbedre sintringsforholdene for keramiske materialer i aluminiumoksyd, slik at de kan oppnå rask fortetting av materialer ved lavere sintringstemperatur, som selvformeing av høytemperatursinterende, blitz-sintring, kaldsinterende og oscillatende press. Blant dem er kald sintring å tilsette et forbigående løsningsmiddel i pulveret og påføre et stort trykk (350 ~ 500MPa) for å forbedre omorganiseringen og diffusjonen mellom partikler, slik at det keramiske pulveret kan sintres og densifiseres ved lavere temperatur (120 ~ 300 ℃) og en kortere tid.

For tiden har den globale integrerte kretsproduksjonsprosessen utviklet seg til en mer avansert prosess på 3-nanometernivå. Halvlederutstyr og halvlederutstyr Presisjonskomponenter må kontinuerlig utvikles og oppgraderes, og det må gjøres prosessforbedringer for å dekke nedstrøms produksjonsbehov. Når halvlederutstyr er oppdatert, vil de spesifikke kravene til nytt utstyr for komponenter endre seg synkront. Med utviklingen av halvledeteknologi blir ytelseskravene til keramiske komponenter i aluminiumoksyd høyere og høyere, inkludert høyere slitestyrke, høy temperaturmotstand og bedre elektrisk isolasjon. Bransjetrender har en tendens til å utvikle høyere renhet, finere struktur aluminiumoksyd pulvermaterialer og ta i bruk avanserte forberedelsesteknologier.

Alumina keramikkhar svært høye renhetskrav når de brukes i halvlederfeltet, vanligvis større enn 99,5%. I halvlederfeltet er keramiske deler av aluminiumoksyd en av de viktigste delene av halvlederutstyr. De fleste av dem brukes i kamre nærmere skiven. I halvlederutstyr er de klassifisert ved bruk og er hovedsakelig delt inn i ringformede sylindere, luftstrømguider, bærende faste, håndgripte pakninger, moduler, etc.

I etsingsprosessen, for å redusere forurensningen av skiven under plasma-etsing, velges aluminiumoks med høy renhet eller aluminiumoksyd keramikk med sterk korrosjonsmotstand som beskyttende materialer for etsekammeret og kammerforet.

I plasma -rengjøringsprosessen brukes etsende gasser som inneholder svært reaktive halogenelementer som fluor og klor. Gassdysen er vanligvis laget av aluminiumoksyd, som er nødvendig for å ha høy plasmasistens, dielektrisk styrke og sterk korrosjonsmotstand mot prosessgasser og biprodukter. Samtidig brukes den indre presisjonshullstrukturen for å kontrollere gasstrømmen nøyaktig.

I halvlederproduksjonsprosessen kan skiven gjennomgå høye temperaturbehandling, for eksempel etsing, ionimplantasjon, etc. Som bærer for skiveoverføring kan aluminiumoksydede transportør sikre stabiliteten og sikkerheten til skiven under overføringsprosessen. Aluminiumoksfører har god termisk ledningsevne og kan effektivt spre og eksportere varmen som genereres av skiven, og dermed beskytte skiven mot termisk skade.

I håndteringen av skiver vil en keramisk robotarm laget av alumina keramikk bli brukt. Den vil bli installert på en skivehåndteringsrobot, som tilsvarer robotens hånd. Det er ansvarlig for å føre skiven til det angitte stedet, og overflaten er i direkte kontakt med skiven. Fordi skiver er ekstremt utsatt for forurensning av andre partikler, blir de generelt utført i et vakuummiljø. I dette miljøet synes robotarmer av de fleste materialer det generelt er vanskelig å fullføre arbeidet. Materialene som brukes til å gjøre robotarmene, må være motstandsdyktige mot høye temperaturer, slitasjebestandige og har høy hardhet. På grunn av kravene til arbeidsforhold er de vanligvis laget av ekstremt høye renhets aluminiumoksyds keramiske materialer, og nøyaktigheten og overflatens ruhet i keramiske deler må garanteres.

Semicorex tilbyr høy kvalitetAlumina keramiske deleri halvleder, inkludert SIC -belegg og TAC -belegg. Hvis du har noen henvendelser eller trenger ytterligere detaljer, ikke nøl med å komme i kontakt med oss.

Kontakt telefon # +86-13567891907

E -post: sales@semicorex.com