Ledende belagte grafittvarmere

DeLedende belagt grafittvarmerer et nytt produkt designet for høytemperatur halvlederbehandling og andre vakuumtermiske systemer. Den benytter den gode termiske stabiliteten til grafitt med høy renhet og de utmerkede overflatekarakteristikkene til et silisiumkarbid (SIC) belegg. Ledende belagt grafittvarmer er ytterligere differensiert av det nitrogen-dopede SIC-laget som gir sterkt forbedret overflatebetingelse, noe som gjør det spesielt godt egnet for applikasjoner som trenger kontrollert og til og med oppvarming med stor elektrisk ytelse.

Varmeapparatet er konstruert med et grafittsubstrat med høy styrke, som fungerer som kjernestruktur og termisk leder. Grafitten ble valgt, spesielt gitt dens høye nivåer av termisk ledningsevne, lav termisk ekspansjonskoeffisient og motstandskraft mot termisk sjokk. Disse egenskapene gjør grafitt til et passende basemateriale i prosesser med høy temperatur der det kan være raske oppvarmings- og kjølesykluser. Imidlertid er uberørt grafitt i seg selv kjemisk reaktiv i visse atmosfærer og kan oppleve overflateskader eller nedbrytning, partikkelutslipp eller overføring under utvidet bruk, spesielt i halvleder reneomsmiljøer.

For å overvinne disse begrensningene er grafittdelen belagt med et tykt SIC-lag med høy renhet. SIC -belegget serverer flere funksjoner: det gir et beskyttelsesnivå mot oksidasjon og kjemisk korrosjon, det gir en veldig hard, slitasjebestandig overflate, og det sikrer kompatibilitet med vakuum- og renromsstandarder. SIC har et rykte for ekstrem hardhet, høy termisk ledningsevne og kjemisk inerthet; Av denne grunn er det et utmerket belegningsmateriale for termiske komponenter med høy ytelse.

Den unike innovasjonen til dette produktet er nitrogendoping av SIC -belegget. Under den kjemiske dampavsetningen (CVD) -prosessen er nitrogenatomer innebygd i SIC -gitteret, produserer gratis bærere, som dramatisk kan redusere overflatesistiviteten, og derfor skape et ledende overflatelag og la strømmen passere direkte, snarere enn å bruke et tilgangspunkt, gjennom SIC -belegget.

KlassiskSic belegger isolative, noe som virkelig begrenser dem i omfanget av aktive elektriske anvendelser. Motsatt har det nitrogen-dopede SIC-laget på varmeren en ekstremt lav overflatemotstand, mens den fremdeles opprettholder alle mekaniske og kjemiske fordeler ved klassisk SIC. Det ledende laget gir veldig god strøm ensartethet og minimerer strømtapet mens du forbedrer termisk fordeling på varmeoverflaten. Det er spesielt ideelt for presisjonsoppvarmingsapplikasjoner under forhold som ofte er assosiert med epitaksiale reaktorer, diffusjonsovner og hurtig termisk prosessering (RTP) utstyr.

Varmegeometrien, typisk spiral eller serpentin som vist på bildet, er designet og optimalisert med den hensikt å produsere ensartet termisk utgangsenergi og jevn elektrisk belastning. Med den integrerte utformingen av grafitt og ledende SIC -belegg, kan elektriske kontakter gjøres direkte på den belagte overflaten som eliminerer behovet for ytterligere elektroder eller metallforbindelse. Dette reduserer forurensningsrisiko og resulterer i en enklere montering. Følgelig forbedres den generelle effektiviteten.

Sentrale fordeler med den ledendeSIC-belagt grafittvarmerinkludere:

Utmerket elektrisk konduktivitet på grunn av doping av nitrogen, noe som muliggjør lik strømstrøm og effektiv resistiv oppvarming.

Overlegen termisk enhetlighet med presis temperaturkontroll over hele overflaten.

Høy kjemisk resistens, spesielt i etsende miljøer som hydrogen, ammoniakk eller halogenrike atmosfærer.

Minimal partikkelgenerering, som oppfyller de strenge renhetskravene til halvlederproduksjon.

Utvidet levetid, på grunn av mekanisk holdbarhet og termisk støtmotstand for både grafittkjernen og SIC -belegget.

Søknadene for denne varmeapparatet strekker seg over en rekke avanserte teknologibransjer. Varmeapparatet vil finne et sted i halvlederproduksjonsprosesser som kjemisk dampavsetning (CVD), molekylærstrålepitaksi (MBE) og skive -annealing, der presis temperaturkontroll og renhet av materialer er kritiske. Den SIC-belagte grafittvarmeren kan også brukes i solcelleproduksjon, sintring av avansert keramikk og i andre termiske prosesser der høyere ytelse, holdbarhet og robuste varmeovner er påkrevd.

Oppsummert er den ledende SIC-belagte grafittvarmeren et imponerende fremgang i utviklingen av termiske komponenter. Ved å bruke et nitrogen-dopet SIC-belegg, har vi utviklet et effektivt termisk produkt, som med hell kombinerer den kjemiske stabiliteten til SIC-belegget med elektrisk ledningsevne. Dermed produserer en termisk prosess som er mer effektiv, renere og mer pålitelig for de mest krevende industrielle applikasjoner. Halvleder- og materialindustriene står overfor fortsatt endring, og hybridmaterialer av denne typen vil bli stadig viktigere for å muliggjøre fremtidige mer avanserte teknologier for produksjon.

Semicorex tilbyr høy kvalitetGrafittvarmere med beleggProdukter. Hvis du har noen henvendelser eller trenger ytterligere detaljer, ikke nøl med å komme i kontakt med oss.

Kontakt telefon # +86-13567891907

E -post: sales@semicorex.com