Store keramiske komponenter i halvlederproduksjon

Halvlederutstyr består av kamre og kamre, og de fleste keramikk brukes i kamre nærmere skivene. Keramiske deler, viktige komponenter som er mye brukt i hulrom med kjerneutstyr, er halvlederutstyrskomponenter produsert gjennom presisjonsbehandling ved bruk av avanserte keramiske materialer som aluminiumoksyd keramikk, aluminiumnitrid keramikk og silisiumkarbid keramikk. Avanserte keramiske materialer har utmerket ytelse i styrke, presisjon, elektriske egenskaper og korrosjonsmotstand, og kan oppfylle de komplekse ytelseskravene til halvlederproduksjon i spesielle miljøer som vakuum og høy temperatur. Avanserte keramiske materialkomponenter i halvlederutstyr brukes hovedsakelig i kamre, og noen av dem er i direkte kontakt med skiven. De er viktige presisjonskomponenter i integrert kretsproduksjon og kan deles inn i fem kategorier: ringformede sylindere, luftstrømguider, bærende og faste typer, griperpakninger og moduler. Denne artikkelen snakker hovedsakelig om den første kategorien: ringformede sylindere.

Ringer og sylindere

1. Ligger innenfor prosesskammeret, kommer de i direkte kontakt med skiven, forbedrer gassveiledning, isolasjon og korrosjonsmotstand.

2. Vaktringer: Hovedsakelig brukt i tynnfilmavsetningsutstyr og etker. Ligger i prosesskammeret, beskytter de nøkkelmodulkomponenter som den elektrostatiske chuck og keramiske varmeovn.

3. kantringer: Hovedsakelig brukt i tynnfilmavsetningsutstyr og etker. Ligger i prosesskammeret, stabiliserer de og forhindrer at plasma slipper unna.

4. Fokuseringsringer: Hovedsakelig brukt i tynnfilmavsetningsutstyr, etker og ionimplantasjonsutstyr. Ligger i prosesskammeret, er de mindre enn 20 mm fra skiven, og fokuserer plasmaet i kammeret.

5. Beskyttelsesdeksler: Hovedsakelig brukt i tynnfilmavsetningsutstyr og etker. Ligger i prosesskammeret, forsegler de og absorberer prosessrester.

6. Jordingringer: Hovedsakelig brukt i tynnfilmavsetningsutstyr og etker. Ligger utenfor kammeret, sikrer de og støtter komponenter.

7. Foring: Primært brukt i etsere, som ligger i prosesskammeret, forbedrer det gassveiledning og sikrer mer ensartet filmdannelse.

8. Isolasjonssylinder: Primært brukt i tynnfilmavsetningsutstyr, etsere og ion -implantater, er den plassert i prosesskammeret og forbedrer utstyrets temperaturkontrollytelse.

9. Termoelementbeskyttelsesrør: Primært brukt i forskjellige halvleder foran utstyr, er det plassert utenfor kammeret og beskytter termoelementer i et relativt stabilt temperatur og kjemisk miljø.

Semicorex tilbyr høy kvalitetkeramiske produkteri halvleder. Hvis du har noen henvendelser eller trenger ytterligere detaljer, ikke nøl med å komme i kontakt med oss.

Kontakt telefon # +86-13567891907

E -post: sales@semicorex.com