تتميز أنابيب الحماية الحرارية المزدوجة SIC بمقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية ومقاومة للتآكل، مما يحافظ على السلامة الهيكلية دون تشوه أو تلف حتى عند تعرضها لبيئات قاسية شديدة الحرارة والتآكل لفترات طويلة. فضلاً عن ذلك،

Deelektrostatisk chuckpåtar seg flere funksjoner som jevn elektrostatisk utladning, varmeledning og waferadsorpsjon og fiksering innen halvlederproduksjon. En av kjernefunksjonene til ESC er å stabilt adsorbere wafere under ekstreme driftsforhold som høyt vakuum, sterkt plasma og et bredt temperaturområde.

Det som virkelig bestemmer ytelsen deres er ikke den ytre strukturen eller basismaterialeformelen, men overflatebehandlingsprosessen. Uten profesjonell overflatebehandling vil følgende problemer oppstå under drift:

1. Plasmaerosjon og metallionforurensning

Ubeskyttede keramiske overflater er sårbare for plasmaerosjon i etsnings- eller CVD-prosessinnstillinger. Denne typen erosjon kan direkte føre til frigjøring av metallioner eller utslipp av keramiske partikler, og dermed forurense waferen.

2. Ujevn termisk ledningsevne og forvrengningsdeformasjon

Rue overflater eller dårlig behandling resulterer i ujevn kontakt mellom wafer ogESC, hindrer varmeledning og påvirker CD-ens enhetlighet.

3. Ustabil elektrostatisk adsorpsjon

Unøyaktig kontroll av overflateisolasjonsytelsen eller konduktiviteten til den elektrostatiske chucken kan lett føre til utilstrekkelig adsorpsjonskraft eller overdreven adsorpsjon, noe som til slutt direkte påvirker utbyttet av waferbehandling.

Overflaten til high-end ESC-er bruker ofte en kompositt flerlagsstruktur, som nøyaktig regulerer funksjonelle områder gjennom belegg for å oppnå ekte høyytelsesintegrasjon.

De vanlige overflatebehandlingsteknologiene til avanserte ESC-er:

1. Fluoropolymer ikke-klebende belegg (som PTFE og PFA)

Denne typen belegg er spesielt egnet for prosessmiljøer med lav temperatur på grunn av sin lave overflatefrie energi, som effektivt forhindrer adsorpsjon av fotoresistrester.

2. Diamantlignende karbon (DLC) belegg

Med høy hardhet, plasmamotstand og lav friksjonskoeffisient er de egnet for anti-erosjon og anti-partikkelløsning i etseutstyr.

3. PVD-ledende keramiske filmer (som CrSiN og TiN)

Denne typen belegg kan konstruere en stabil ledende bane i et spesifikt område, og derved effektivt unngå problemet med lokal ladningsakkumulering ved nøyaktig å kontrollere jevn utladning av overflateladninger.

4. Kompositt termisk ledende belegg (som diamantpulver og fluorpolymer hybridbelegg)

Denne typen belegg kombinerer ikke-klebende kvaliteter med termisk ledningsevne, og dens generelle ytelse kan nøyaktig matche påføringskravene til høypresisjons termisk kontroll ESC.