Hva er hakket på oblater?

Wafer-hakket er et V-formet eller U-formet spor på kanten av enhalvlederskive. Langt fra å være en defekt som oppstår under produksjonsprosessen, er det den kritiske strukturelle markøren som ble designet med hensikt, hvis kjernefunksjon ligger i å muliggjøre presis posisjonering og orienteringsidentifikasjon av waferen. Wafer flat ble brukt som orienteringsmarkering i de tidlige stadiene av waferteknologiutvikling. Etter hvert som waferstørrelsene gradvis økte, opptok imidlertid flatkantdesignet mer effektivt område, og ble dermed gradvis erstattet av det mer kompakte hakket.

Hva er funksjonen til wafer-hakket? 

Brikkeproduksjon er en prosess i nanometerskala, der ethvert retningsavvik kan føre til kretssvikt. Fungerer som en orienteringsmarkering, wafer-hakket muliggjør litografi og etsemaskiner raskt identifisere krystallorienteringen til waferen, og sikrer nøyaktig justering av hvert prosesstrinn. Hver brikke er plassert på waferen i henhold til et hakk, lik prime meridianen. Denne geniale designen gjør at kretsmønstre kan litograferes og legges ut med hakket som referansedatum. I tillegg er robotarmer avhengige av wafer-hakket for å skille waferens for-/bakside og orientering i høyautomatisert produksjonslinje, noe som i betydelig grad forhindrer wafer-skade eller prosessfeil forårsaket av feilbetjening. Skulle hakket bli forurenset eller skadet, kan hele waferen bli avvist som ikke-konform.

Wafer-hakket spiller også en avgjørende rolle for å forbedre chipproduksjonen. Siden waferkanter er utsatt for defekter som glidelinjer og sprekker under produksjon, gjør presis posisjonering via hakk det mulig for utstyr å nøyaktig unngå disse defekte områdene, og dermed redusere avfall. Moderne produksjonslinjer tar også i bruk teknologier som luftfjæringsrotasjon for kantsøkingsoperasjoner. Fungerer som en markør for ikke-kontaktdeteksjon, og unngår ikke bare forurensning forårsaket av mekanisk kontakt, men forbedrer også identifiseringseffektiviteten og nøyaktigheten.

Semicorex girhøykvalitets oblater. Hvis du har spørsmål eller trenger ytterligere detaljer, ikke nøl med å ta kontakt med oss.

Kontakt telefonnummer +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com