Hva er funksjonen til fokusringer?

Fokusringer er de essensielle komponentene for å sikre jevnheten og stabiliteten til halvlederetseprosessene. Gjennom presis kontroll av elektriske og termiske felt kan fokusringer konsentrere plasma på waferoverflaten, og sikre konsistente etseresultater på tvers av alle steder på waferen.

Funksjonene til fokusringer

1. Forbedre etsningens enhetlighet

I etseprosessen kan fokusringer konsentrere plasma påoblatoverflate, som effektivt garanterer jevn plasmatetthet, ionebombardementsvinkel og energinivåer på tvers av både waferkanten og senterområdene. De korrigerer den elektriske feltfordelingen ved waferkanten, reduserer etsningshastigheten, kritiske dimensjoner og morfologivariasjoner forårsaket av kanteffekter, og sikrer dermed etsekonsistens over hele waferoverflaten. Hvis fokusringen er overdreven slitt eller det ikke er noen fokalring, vil plasma diffundere fra waferkanten, og til slutt forårsake avvik i linjebredden mellom kant- og midtområdene.

2. Beskytt den elektrostatiske chucken

Fokusringer er vanligvis installert utenfor waferbæreroverflaten til de elektrostatiske chuckene, direkte utsatt for plasmabombardement og korrosjon. Dette installeringsoppsettet fungerer som den fysiske barrieren for å forhindre at plasma kommer i kontakt med de elektrostatiske chuckene under etseprosessen, og reduserer dermed risikoen for plasmaskade betydelig. Fokusringer kan også forhindre at biprodukter som genereres under etseprosessen fester seg til de elektrostatiske chuckene, og dermed unngår ytelsesforringelse forårsaket av chuckforurensning og tilstopping. Dette forlenger vedlikeholdssyklusen og levetiden til de elektrostatiske chuckene betraktelig, og reduserer vedlikeholds- og utskiftingskostnader for utstyr.

Fokusringer er vanligvis laget av høy renhetkvarts, silisiumogsilisiumkarbidmaterialer. Takket være deres utmerkede omfattende ytelse, blir silisiumkarbidmaterialer gradvis hovedalternativet for banebrytende etseprosesser. Som en pålitelig leverandør av halvlederfokusring i Kina, tilbyr Semicorex høy kvalitetfokusringer av silisiumkarbidav forskjellige størrelser for å matche de forskjellige kravene til etseutstyr. Semicorex tar gjerne imot dine henvendelser og kjøp når som helst.