Hva er The Glass Wafers?

Med utviklingen av halvleder- og optiske teknologier,glass oblatersom den nye typen glassprodukter, blir gradvis et komplement til silisiumskiver, og viser et stort potensial innen høyteknologi. Hva er glassplatene? Glasswafere er de høyytende sirkulære tynne skivene, vanligvis laget av kvartsglass, alkalifritt glass eller glass-silisiumkompositter. Med utmerkede fysiske og kjemiske egenskaper spiller de en uerstattelig rolle i banebrytende produksjonsfelt, som halvlederproduksjon, optikk, MEMS, forbrukerelektronikk, biomedisin og laboratorieforskning.

De vanlige materialene for glassvafere

1. Langt ultrafiolett kvartsglass

Langt ultrafiolettkvartsglass produseres ved den kjemiske dampavsetningsprosessen, der gassformig silisiumtetraklorid gjennomgår gassfasereaksjonen i en oksyhydrogenflamme for å generere amorft silisiumdioksyd, som deretter avsettes på et kvartssubstrat for gradvis vekst og dannelse. Dette materialet inneholder en stor mengde hydroksylgrupper (950-1400 ppm), med en liten total mengde metalliske urenheter mindre enn 0,2 ppm. Takket være sine utmerkede egenskaper som anti-strålingsegenskaper, optisk ensartethet og høy ultrafiolett transmittans (spesielt i det langt-ultrafiolette området), er langt-ultrafiolett kvartsglass mye brukt i applikasjoner innen langt-ultrafiolett optikk.

Imidlertid er storskalaapplikasjonen av langt ultrafiolett kvartsglass begrenset til en viss grad av faktorer som stripedefektene som er enkle å generere under forberedelsesprosessen, vanskeligheten med å støpe store og komplekse produkter og de relativt høye produksjonskostnadene.

2. Ultrafiolett optisk kvartsglass:

Ultrafiolett optisk kvartsglass via flammefusjonsprosessen er produsert ved å smelte naturlig krystall med en oksyhydrogenflamme, etterfulgt av avsetning på overflaten av smeltet silikaglassmål. Ultrafiolett optisk kvartsglass med et hydroksylinnhold på 150-400 ppm gir eksepsjonelle fordeler, som høy ultrafiolett transmittans, sterk kjemisk stabilitet, brønntermisk stabilitet og høy mekanisk styrke. Ved å dra nytte av sin modne produksjonsprosess og høye kostnadseffektivitet, er ultrafiolett optisk kvartsglass mye brukt i elektronikk- og halvlederindustrien.

Imidlertid har ultrafiolett optisk kvartsglass dårlig optisk ensartethet og kan inneholde mikroskopiske defekter som striae og mikrobobler, som kan påvirke optisk bildekvalitet og laseroverføringsstabilitet.

3. Infrarødt optisk kvartsglass:

Infrarødt optisk kvartsglass produseres ved å smelte krystallpulver ved hjelp av vakuumelektrofusjonsprosessen. Dette materialet har et lavt hydroksylinnhold (<5ppm), noe som resulterer i overlegen infrarød transmittans. Takket være sin overlegne infrarøde transmittans, brønnkjemiske egenskaper og høy mekanisk styrke og moden fabrikasjonsteknologi, er infrarødt optisk kvartsglass mye brukt i infrarøde optikkapplikasjoner.

Imidlertid inneholder infrarødt optisk kvartsglass høye metalliske urenheter og gir en relativt lav laserskadeterskel, noe som gjør det uegnet for laserapplikasjoner med høy energitetthet og scenarier som krever ekstremt høy transmittans av langt ultrafiolett lys.