Porøs aluminiumoksydvakuumchuck

Vakuumchucken er koblet til vakuumutstyret via et koblingsrør. Når vakuumchucken kommer i kontakt med arbeidsstykket, for eksempel en wafer/tynt filmmateriale, begynner vakuumutstyret å fungere, og skaper et undertrykk inne i vakuumchucken. Under atmosfærisk trykk fester arbeidsstykket seg godt til vakuumchucken, noe som muliggjør bearbeiding. Etter at behandlingen er fullført, slutter vakuumutstyret å fungere og fyller sakte vakuumchucken med gass, og skiller automatisk arbeidsstykket fra chucken. Dette fullfører oppspenningen, bearbeidingen og håndteringen av arbeidsstykket.

Kjernemålet med halvlederfotolitografi er å "skrive ut" milliarder av transistorkretsmønstre på en wafer med nanometer-nivå presisjon. Essensen av "fotolitografi" er å bruke en lyskilde for å bestråle svært lysfølsom fotoresist, og forårsake en kjemisk reaksjon som etser kretsen. Men når lyskilden bestråler waferen, skinner den uunngåelig også på den elektrostatiske chucken, som fungerer som wafer-bærer. Det resulterende reflekterte sekundære lyset kan forstyrre fotolitografiprosessen, forårsake eksponering i utilsiktede områder og skade kretsløpet. Derfor minimerer en svart overflate for vakuumchucken refleksjon, og sikrer presisjonskravene til fotolitografisystemet. Basert på denne egenskapen kan svart alumina brukes mye, ikke bare i elektrostatiske chucker, men også i "lysdempende" scenarier. Fremkomsten av AI-æraen har muliggjort betydelig utvikling innen optiske kommunikasjonsapplikasjoner, og sorte alumina-substrater sees ofte i emballasjen til optoelektroniske enheter og lysemitterende elementer.

Sort alumina keramikker hovedsakelig laget av Al2O3, med overgangsmetalloksider som fargestoffer og sintringshjelpemidler tilsatt, sintret ved en bestemt temperatur. Fargestoffet er en avgjørende komponent i denne typen keramikk, og bestemmer dens endelige farge. Når du velger fargestoffer for vakuumchucker, er det viktig å sikre graden av farge, mekanisk styrke, porøsitet og porestørrelse til vakuumchucken.

For tiden inkluderer ofte brukte overgangsmetalloksider som fargestoffer både innenlands og internasjonalt Fe2O3, CoO, NiO, Cr2O3 og MnO2, med Fe2O3, CoO, NiO og MnO2 som de mest utbredte. Fordi alumina er mindre flyktig ved høye temperaturer, mens overgangsmetalloksider er det motsatte, øker deres flyktighet med temperaturen. Disse oksidene danner spinell-type forbindelser under høytemperatursintring, noe som reduserer deres flyktighet. Derfor, for å undertrykke fordampningen av overgangsmetalloksider, bør passende prosessbetingelser velges for å tillate dem å kombinere til spinell-type forbindelser ved lavere temperaturer.

Semicorex tilbyr tollporøs keramisk vakuumchuck. Hvis du har spørsmål eller trenger ytterligere detaljer, ikke nøl med å ta kontakt med oss.

Kontakt telefonnummer +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com