Semicorex Ceramic brukt i halvlederbehandling

Med utviklingen av teknologien har smarte produkter som mobiltelefoner, datamaskiner, elektriske kjøretøy og roboter blitt integrert i folks liv. Disse produktene inneholder et stort antall halvlederbrikker, og brikkefremstilling krever halvlederutstyr, som etsemaskiner, litografimaskiner og ioneimplantater. Åpning av en halvlederenhet avslører at de fleste av komponentene er keramiske deler. Keramiske deler har utmerkede egenskaper som høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet, høy presisjon og høy styrke, noe som gjør dem godt egnet for bruk i halvlederutstyr. De fleste keramiske deler, som nøkkelkomponenter i halvlederproduksjonsprosesser, kontakter waferen direkte, noe som muliggjør høypresisjonskontroll og rask oppvarming og avkjøling av waferens overflatetemperatur.

Halvlederkeramiske deler tilhører avansert keramikk, og de involverte keramiske materialene inkluderer vanligvis alumina, silisiumkarbid, aluminiumnitrid, silisiumnitrid og yttriumoksyd. Metoder for forming av keramiske produkter inkluderer vanligvis tørrpressing, tapestøping, sprøytestøping, varm isostatisk pressing, kald isostatisk pressing, slip-støping, ekstruderingsstøping, varmpressing, gelstøping og direkte størkningsstøping.

1. Tørrpressinger

Tørrpressing er en vanlig prosess for produksjon av halvlederkomponenter. Denne prosessen involverer først og fremst å helle granulert pulver med en passende partikkelstørrelsesfordeling i et metallformhulrom, påføre trykk med et trykkhode. Trykkhodet beveger seg inne i formhulen, overfører trykk til pulverpartiklene og komprimerer dem, og danner til slutt et keramisk emne med en bestemt form og styrke.

2. Støping

Støping er en våtformingsteknologi som er i stand til å produsere keramiske emner med tykkelser fra titalls mikrometer til millimeter i en enkelt prosess. En keramisk slurry med god viskositet og dispersjon strømmer fra slurrysporet til en støpemaskin og over på et underlag. Slurryen sprer seg, og under overflatespenning dannes et emne med en glatt overside. Emnet, sammen med substratet, sendes til et tørkekammer. Etter at løsningsmidlet har fordampet, danner et organisk bindemiddel et nettverk mellom de keramiske partiklene, og skaper et emne med en viss styrke og fleksibilitet. Det tørkede emnet skrelles av underlaget og rulles sammen for senere bruk. Videre prosessering, som skjæring, stempling og piercing, etterfulgt av brenning, fullfører produksjonsprosessen.

3. Sprøytestøping

Sprøytestøping er en ny teknologi for produksjon av keramiske deler. Produksjonsprosessen består hovedsakelig av fire stadier: klargjøring av injeksjonsmaterialet, sprøytestøping, avbinding og sintring. Det brukes ofte til å produsere små keramiske deler med komplekse geometrier og spesielle krav.

4. Isostatisk pressing

Isostatisk pressing inkluderer varm isostatisk pressing og kald isostatisk pressing. Isostatisk pressing kan overføre trykk fra alle retninger, og dermed sikre fortetting av arkmaterialet.

1) Varm isostatisk presseprosess

Denne metoden forbedrer atomdiffusjonen under høy temperatur og trykk, noe som får porene i keramikken til å migrere til korngrensene eller arbeidsstykkets overflate, og dermed redusere eller eliminere porøsitet. Varm isostatisk pressing bruker tynnveggede forspente viklingsenheter, noe som muliggjør jevn og rask avkjøling, noe som forbedrer produksjonseffektiviteten betydelig sammenlignet med naturlig kjøling.

2) Kald isostatisk presseprosess

Denne metoden bruker 100~600 MPa til keramikk eller metallpulver ved romtemperatur eller litt høyere temperaturer (<93 ℃) for å oppnå en "grønn kropp", som deretter sintres til sin endelige styrke.

5. Slipstøping

Slipstøping er en ofte brukt støpemetode i storskala keramikkproduksjon. Det innebærer å injisere en slurry med høyt faststoffinnhold og god flyt i en porøs gipsform. På grunn av kapillærsugingen av den porøse formen, trekkes vann fra slurryen av den indre veggen av formen, og danner en størknet grønn kropp langs formveggen. Når den grønne kroppen har nådd en viss styrke, kan den tas ut av formen.

6. Ekstrusjonsstøping

Ekstruderingsstøping involverer blanding av keramisk pulver, leire eller organisk bindemiddel og vann, gjentatt elting, vakuumavgassing og aldring for å gi den ekstruderte grønne kroppen god plastisitet og jevnhet. Deretter, under påvirkning av en ekstruderingsskrue eller stempel, ekstruderes den gjennom en dyse ved ekstruderdysen for å oppnå ønsket produktform.

7. Hot Press Casting

Varmpressestøping utnytter hovedsakelig egenskapen til parafinvoks som smelter når den varmes opp og størkner ved avkjøling. Keramisk pulver og varm parafinvoks blandes jevnt for å danne en flytbar slurry. Under et visst trykk injiseres slurry i en metallform for å danne en grønn kropp. Etter avkjøling og størkning, fjernes den grønne kroppen og fjernes. Den grønne kroppen blir deretter trimmet, avvokset ved høy temperatur og til slutt sintret for å produsere det ferdige produktet.

8. Gelstøping

Gelstøping innebærer å dispergere keramisk pulver i en løsning som inneholder organisk materiale for å fremstille en suspensjon med høyt faststoffinnhold. Denne suspensjonen injiseres deretter i en form med en bestemt form. Under spesifikke katalytiske forhold og temperaturforhold polymeriserer de organiske monomerene, danner en gel, størkner suspensjonen in situ og tørker, noe som resulterer i en grønn kropp med høy styrke.

9. Direkte størkningsstøping

Direkte størkningsstøping er en ny metode for å danne keramiske kolloidale strukturer i nettstørrelse. Denne metoden kombinerer tradisjonell keramisk teknologi med kjemisk teori, ved å bruke katalysatorer eller initiatorer for å forårsake tverrbinding av organiske monomerer tilsatt suspensjonen, og danner en nettverksstruktur som fører til størkning in situ.

Semicorex tilbyr ulikekeramiske komponenter. Hvis du har spørsmål eller trenger ytterligere detaljer, ikke nøl med å ta kontakt med oss.

Kontakt telefonnummer +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com