Hva er en SiC-båt, og hva er dens forskjellige produksjonsprosesser?

1. De forskjellige produksjonsprosessene tilSiC båt

(1) Belegg et lag medSiC-filmpå overflaten av grafittkrystallbåtergjennom CVD

Denne båttypen har en grafittkjerne, som er maskinert i ett stykke. Derimot,grafitt er porøsog utsatt for partikkelgenerering, noe som nødvendiggjør påføring av enSiC-filmbeleggpå overflaten. På grunn av misforholdet i koeffisienten for termisk ekspansjon (CTE) mellom grafittlegemet ogSiC-film, vil belegget sannsynligvis flasse av etter flere oppvarmings- og avkjølingssykluser, noe som fører til partikkelforurensning. Disse båtene er de billigste og har en levetid på ca. ett år.

(2) Belegg et lag medSiC-filmpå omkrystallisertSiC krystallbåter

OmkrystallisertSiC-båterer også porøse og kan lett generere partikler. Derfor rekrystalliserte de individuelle komponenteneSiC-båtermå forhåndsformes, sintres og deretter maskineres separat. Etterpå bindes komponentene sammen ved høye temperaturer ved bruk av Si-pasta. Når den er satt sammen til en enkelt båt, enSiC-filmpåføres gjennom CVD. Dette omkrystalliserte segSiC båthar den lengste produksjonsprosessen og er kostbar, men overflatenCVD-beleggkan også bli skadet, med en levetid på rundt tre år.

(3)MonolitiskSiC krystallbåter

Dissebåterer helt sammensatt av SiC-materiale. SiC-pulver må støpes og sintres i form av en monolittisk båt. Ekstremt kostbare, de er svært holdbare og mindre sannsynlige for å generere partikler. Imidlertid inneholder disse båtene 10-15 % fritt silisium, som er utsatt for erosjon av fluor og klor, noe som fører til partikkelforurensning.

2. Hvorfor anbefales ikke renseri?

Oppsummert, forSiC-båterbelagt med enSiC-film gjennom CVD, overflatebelegget er utsatt for avskalling under renseri, noe som forårsaker partikkelforurensning. For monolittiskSiC-båtersom inneholder en liten mengde fritt silisium, kan eksponering for gasser som inneholder fluor eller klor føre til erosjon og partikkeldannelse, og dermed føre til forurensning.**