Kvarts med høy renhet: Et uunnværlig materiale for halvlederindustrien

Kvarts med høy renhet har bemerkelsesverdige fysiske og kjemiske egenskaper. Dens iboende krystallstruktur, form og gittervariasjoner bidrar til eksepsjonelle egenskaper som høytemperaturmotstand, korrosjonsmotstand, slitestyrke, lav termisk ekspansjonskoeffisient, høy isolasjon, piezoelektriske effekter, resonanseffekter og unike optiske egenskaper. Disse egenskapene gjør det til et uerstattelig grunnlagsmateriale for utvikling av strategiske og søyleindustrier.

Anvendelsen av høyrent kvarts spenner over forskjellige felt, inkludert halvledere, solceller, optiske fibre og elektriske lyskilder. Blant disse har halvlederindustrien den største andelen, og står for en betydelig 50% av bruken.

I hjertet av halvlederproduksjon ligger brikkefremstilling, som representerer det høyeste verdiøkende segmentet i bransjen. Chipproduksjon omfatter primært fire stadier: enkeltkrystallvekst, prosessering og fabrikasjon av skiver, produksjon av integrerte kretser (IC) og pakking. De mest kritiske, komplekse og krevende stadiene, spesielt når det gjelder materialkrav, er produksjon av silisiumwafer og waferbehandling.

Kvartsmaterialer med høy renhet, med sin eksepsjonelle termiske stabilitet, syrebestandighet, lave termiske ekspansjon og utmerkede spektraltransmittans, oppfyller perfekt de strenge kravene til halvlederindustrien angående innhold av alkalimetall og tungmetaller i bærematerialer. Produksjonsprosessen krever et betydelig volum av høykvalitets kvartskomponenter, inkludert wafere, ringer, plater, flenser, etsede båter, diffusjonsovnsrør og rensetanker.

Kvarts med høy renhet som brukes i ulike stadier av klargjøring av halvledere

Applikasjon i produksjon av silisiumwafer

Den primære anvendelsen av kvartsglass iproduksjon av silisiumwaferligger i produksjonen avkvartsdigeler, avgjørende for Czochralski-prosessen (CZ) som brukes til å dyrke enkrystall silisiumblokker for wafer-fabrikasjon. I tillegg brukes også kvartsrensebeholdere.

Semicorex Smelt kvartsdigel

Søknad i Wafer Processing

Under waferbehandling kan ulike behandlinger somoksidasjon, epitaksi, litografi, etsing, diffusjon, kjemisk dampavsetning (CVD), ioneimplantasjon og polering utføres på silisiumskiver. Kvartsglass med høy renhet, på grunn av sin renhet, motstand mot høye temperaturer, lav termisk ekspansjon og korrosjonsbestandighet, spiller en avgjørende rolle i disse prosessene.

1)Diffusjon og oksidasjon: Kvartsglass diffusjonsrører mye brukt i disse prosessene, sammen med tilhørende kvartsflenser. Andre nøkkelkomponenter inkludererkvarts ovnsrør(for transportkvartsbåterinn og ut av ovnen), kvartsbåter (for å bære silisiumskiver) og kvartsbåtstativer. Blant disse,kvartsglass diffusjonsrører avgjørende, med deres renhet, motstand mot høye temperaturdeformasjoner og presise geometri som direkte påvirker IC-kvalitet, kostnad og produksjonseffektivitet.

Kvartsbåterog stativer fungerer som uunnværlige bærere for silisiumskiver under diffusjons-, oksidasjons-, CVD- og glødeprosesser. Disse komponentene kommer i forskjellige spesifikasjoner og størrelser, vanligvis tilgjengelig i horisontale og vertikale konfigurasjoner. Direkte kontakt med silisiumskiver ved høye temperaturer nødvendiggjør bruk av høyrent kvartsglass med utmerket termisk stabilitet og dimensjonsnøyaktighet for disse komponentene.

Semicorex kvartskomponenter for diffusjonsovn

2)Etsing og rengjøring:Etseprosessen krever korrosjonsbestandige kvartsglassmaterialer og komponenter, noe som fører til en betydelig etterspørsel etter kvartsringer, kvartsglassreaksjonskamre og waferstøtter. I tillegg bruker trinnene for syrerengjøring og ultralydrengjøring henholdsvis kvartsglasskurver og rensetanker, og utnytter materialets eksepsjonelle kjemiske stabilitet. Kvartsklokkeglass brukes også under epitaksial vekst av silisium.

3)Fotolitografi:Høyrent kvartsglass fungerer som det primære substratmaterialet for fotomasker, avgjørende komponenter i fotolitografiprosessen. Anskaffelseskostnadene for disse substratene utgjør en betydelig 90 % av de totale råvarekostnadene for fotomasker, som indikert av data fra Qingyi Photomasks prospekt. Som høypresisjonsverktøy for overføring av kretsmønstre under produksjon av LCD-skjermer, halvledere og andre elektroniske enheter, påvirker fotomasker direkte presisjonen og kvaliteten til sluttproduktet. Dette nødvendiggjør bruk av syntetiske kvartsglassblokker med ultrahøy renhet som basismateriale for fotomaskesubstrater.

Avslutningsvis har den unike kombinasjonen av egenskaper som vises av høyrent kvarts sementert sin posisjon som et uunnværlig materiale i halvlederindustrien. Etter hvert som teknologien skrider frem og kravene til miniatyrisering og ytelse øker, forventes avhengigheten av kvartsmaterialer av høy kvalitet bare å øke, noe som ytterligere befester dens avgjørende rolle i å forme fremtidens elektronikk.**

Semicorex, som en erfaren produsent og leverandør, leverer høyrente kvartsmaterialer for halvleder- og fotovoltaisk industri. Hvis du har spørsmål eller trenger ytterligere detaljer, ikke nøl med å ta kontakt med oss.

Kontakt telefonnummer +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com