Hvorfor velge SiC-belagte grafittsusceptorer?

Grafitt susceptorer en av de essensielle delene i MOCVD-utstyret, er bæreren og varmeren til wafersubstratet. Egenskapene til termisk stabilitet og termisk ensartethet spiller en avgjørende rolle i kvaliteten på epitaksial vekst av wafer, som direkte bestemmer jevnheten og renheten til lagmaterialene, og dermed påvirker kvaliteten direkte fremstillingen av epitaksi. I mellomtiden, med økningen i antall bruk og endringer i arbeidsforhold, er det veldig lett å miste, og tilhører forbruksmateriellet. Grafitts utmerkede varmeledningsevne og stabilitet gjør det til en god fordel somen basiskomponent for MOCVD-utstyr. Men hvis bare ren grafitt brukes, vil det møte noen problemer. Det vil være etsende gass og metallorganiske rester i produksjonsprosessen, og grafittbasen vil korrodere og falle av pulveret, noe som i stor grad reduserer levetiden tilgrafitt susceptor, og det falne grafittpulveret vil også forårsake forurensning til brikken, så i forberedelsesprosessen av basen også Disse problemene må løses under forberedelsen av basen. Beleggteknologien kan gi overflatepulverfiksering, forbedre termisk ledningsevne og utjevne termisk fordeling, som blir hovedteknologien for å løse dette problemet. Hovedteknologien er å løse dette problemet. I henhold til applikasjonsmiljøet og kravene tilgrafitt susceptorer, skal overflatebelegget ha følgende egenskaper.

Høye tettheter og full innpakning: grafittbasen som helhet er i et høytemperatur, korrosivt arbeidsmiljø, overflaten må være fullstendig innpakket, mens belegget må ha gode tettheter for å spille en god beskyttende rolle.

God overflateplanhet: Ettersom grafittbasen som brukes til enkeltkrystallvekst krever en meget høy overflateplanhet, må den opprinnelige flatheten til basen opprettholdes etter at belegget er klargjort, dvs. beleggoverflaten må være jevn.

God bindingsstyrke: Å redusere forskjellen i termisk ekspansjonskoeffisient mellom grafittbase og beleggmateriale kan effektivt forbedre bindingsstyrken mellom dem, og belegget er ikke lett å knekke etter termiske sykluser med høy og lav temperatur.

Høy termisk ledningsevne: Høykvalitets sponvekst krever rask og jevn varme fra grafittbasen, så beleggmaterialet bør ha høy varmeledningsevne.

Høyt smeltepunkt, høy temperatur oksidasjon og korrosjonsbestandighet: Belegget skal kunne fungere stabilt i høytemperatur og korrosive arbeidsmiljøer.