Kjennende Cantilever Paddle

Under behandlingen må halvlederskiver vanligvis varmes opp i en spesialisert ovn. Slike ovner består typisk av lange, tynne, sylindriske rør. Skivene er plassert i ovnen og reaktoren på en slik måte at de er anordnet langs et plan definert av det sirkulære tverrsnittet av ovnen eller reaktoren og er adskilt på forhåndsbestemte, vanligvis lik avstand, punkter langs den sentrale aksen til ovnen eller reaktoren. ovn eller reaktor. For å oppnå denne posisjoneringen plasseres skivene typisk på slissede holdere, kalt wafer-båter, som plasserer skivene i en adskilt konfigurasjon på linje langs den sentrale aksen.

Små båter som inneholder partier med wafere som skal behandles, plasseres på lange utkragende skovler som rørformede ovner og reaktorer kan settes inn og trekkes ut gjennom. Slike årer inkluderer typisk en flat bærerseksjon som en eller flere små båter kan plasseres på, og et langt håndtak, plassert i den ene enden av den flate bæreseksjonen, ved hjelp av hvilket åreårene kan håndteres. En overgangsdel er vanligvis dannet mellom håndtaket og bæredelen for å gjøre dem til en helhet. Håndtaket må også strekke seg ut av ovnen eller reaktoren slik at det og waferbåten kan manipuleres.

Plasseringen av waferskipet inne i ovnen eller reaktoren er viktig fordi det er ønskelig å plassere midten av hver wafer så nært som mulig til sentralaksen til ovnen eller reaktoren for å oppnå ensartede behandlingsbetingelser som waferne utsettes for. Derfor må bøyningen av skovlen forårsaket av vekten av skipet som bærer skivene tas i betraktning i skovldesignet, spesielt siden skovlen er støttet i bare den ene enden, dvs. den enden som stikker ut fra ovnskammeret. I tillegg til å ta hensyn til årekonstruksjonen som følge av kravene til operativ vekt, må det også brukes et sett med klemmer som er utformet for å holde den forlengede enden av skovlen på plass. Disse klemmene må være ganske robuste for å holde skovlen i en nøyaktig ønsket posisjon samtidig som de er enkle å bruke og minimerer muligheten for skade på skovlen under klemming.

Derfor var det nødvendig med en cantilever-åre som kunne brukes med en tyngre belastning og samtidig være kompatibel med eksisterende klemmesystemer. Det var også behov for en cantilever-åre som viste akseptable avbøyningsegenskaper over hele spekteret av vektbelastninger den kunne brukes med.

cantilever padle anbefales for å bruke rekrystallisert silisiumkarbid med et CVD SiC tynt lag, som er høy renhet og det beste valget for komponentene i halvlederbehandling.

Semicorex kan gihøy kvalitetcantilever årerogskreddersydde tjenester i henhold til tegninger og arbeidsmiljø.