Strukturelle forskjeller mellom ulike typer reaktorer

Basert på reaksjonskammerkonfigurasjonen er varmebehandlingsutstyr (ovnsrørutstyr) hovedsakelig delt inn i tre kategorier: vertikale ovnsrør, horisontale ovnsrør og hurtig termisk prosessering (RTP) ovner.

Vertikale ovnsrør har vertikalt anordnede kvartsrør, med skivene plassert rundt rørene for oppvarming. Deres viktigste fordeler er jevn temperaturfordeling, presis atmosfærekontroll, høy automatisering, mindre partikkelforurensning, lite fotavtrykk og støtte for batchbehandling (spesielt egnet for 12-tommers wafere), noe som gjør dem til det ordinære utstyret som er tilgjengelig for øyeblikket. Den globale markedsstørrelsen nådde 3,2 milliarder dollar i 2024 (SEMI-data). Deres ulemper inkluderer enkel gass-væske separasjon, og nedadgående strømning av mediet som potensielt kan føre til at ovnsrøret brenner ut.

Horisontale ovnsrør har horisontalt plasserte kvartsrør, som behandler 100-200 wafere om gangen. Fordelene deres inkluderer jevn gass-væskestrøm i ovnsrøret og mer presis temperaturkontroll. Deres ulemper inkluderer et større fotavtrykk og et høyere forbruk av mellomrørstøtter av høylegert stål. Strukturelt sett plasserer horisontale ovnsrør skivene vertikalt i horisontale rør for prosessering.

Ovner med hurtig termisk utglødning (RTP) bruker infrarøde halogenlamper for raskt å varme opp enkeltskiver, og tilbyr raske oppvarmings- og kjølehastigheter som endrer bare wafertemperaturen uten å endre kammertemperaturen. De er egnet for rask utglødning i små partier, men ikke for masseproduksjon.

Ved waferbehandling plasserer horisontale ovnsrør waferen på en kvartsbåt, som igjen hviler på en silisiumkarbid (SiC) støtteramme. Støtterammen skyves deretter inn i kvartsovnsrøret, hvor waferen gjennomgår reaksjonen i en sone med konstant temperatur. Vertikale ovnsrør, derimot, plasserer waferen på et kvartstårn og hever den sakte inn i kvartsovnsrøret for prosessering. Etter reaksjonen senkes waferen sakte for å forhindre bøyning eller brudd.

Semicorex leverer spesialtilpasset høy kvalitetkvartsovnsreaktor. Produktene våre er konstruert for å levere overlegen termisk stabilitet, forlenget levetid og eksepsjonell prosesskonsistens. For skreddersydde løsninger eller ytterligere teknisk informasjon, ta gjerne kontakt med vårt ingeniørteam.

Telefon: +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com