Presisjons keramiske deler er viktige komponenter av kjerneutstyr i viktige prosesser for halvlederproduksjon, for eksempel fotolitografi, etsning, tynnfilmavsetning, ionimplantasjon, CMP, etc., for eksempel lagre, føringsskinner, foringer, elektrostatiske chuck, mekaniske håndteringsarmer, etc.
Les mer