Semicorex sin silisiumkarbidbelagte susceptor for Inductively-Coupled Plasma (ICP) er designet spesielt for høytemperatur-waferhåndteringsprosesser som epitaksi og MOCVD. Med en stabil oksidasjonsmotstand ved høye temperaturer på opptil 1600°C, sikrer våre bærere jevne termiske profiler, laminære gassstrømningsmønstre og forhindrer forurensning eller diffusjon av urenheter.
Les merSend forespørsel