Alumina keramisk manipulator

Alumina keramisk manipulatorkalles også alumina keramiske gaffel og wafer håndtering endeeffektor. Den er installert på waferhåndteringsroboten og tilsvarer robotens hånd. Den brukes til å bære, transportere og plassere halvlederskiver.Silisiumskiverer ekstremt utsatt for forurensning fra andre partikler, så de håndteres vanligvis i et vakuummiljø for å sikre renslighet. Alumina keramiske manipulatorer bruker negativt trykksug for å fjerne wafere og transportere halvlederwafere gjennom armens teleskopiske, roterende og løftende bevegelser. Det er lufthull og ventilasjonsspor inne i den keramiske aluminiumsmanipulatoren, som kan danne et vakuum ved pumping av luft, slik at halvlederplatene kan adsorberes ved lett kontakt uten å klemme eller skade halvlederplatene.

Det er velkjent at jo renere sammensetningen avalumina keramikker, jo høyere styrken vil være. Semicorex alumina keramiske manipulatorer er laget av høyrent alumina keramikk. Dette resulterer i eksepsjonell mekanisk styrke og hardhet. Deres slitestyrke overgår langt slitestyrken til stål og kromstål, noe som lar dem opprettholde overflatenøyaktighet over tid i høyfriksjonsmiljøer, reduserer risikoen for riper på skiver og gjør dem ideelle for høypresisjonshåndtering. Denne alumina keramiske manipulatoren har høy resistivitet. Dens enestående elektriske isolasjonsegenskaper kan effektivt forhindre elektrostatisk interferens, og redusere risikoen for partikkeladsorpsjon for å opprettholde en ren waferoverflate. Videre involverer halvlederproduksjonsprosessen komplekse kretser og høyspentmiljøer i utstyret. Den keramiske manipulatoren av aluminiumoksyd med høy motstand blokkerer effektivt strømledning, og sikrer elektrisk sikkerhet under håndtering av halvlederwafer. Takket være den høye temperaturmotstanden og den termiske stabiliteten til alumina-keramikk, deformerer manipulatoren svært lite under halvledervarmebehandlingsprosessen, kan nøyaktig plassere wafere og unngå presisjonsavvik forårsaket av termisk deformasjon. Dessuten har dette materialet utmerket kjemisk stabilitet og er svært motstandsdyktig mot korrosjon av syrer, alkalier, smeltede metaller osv. Det er ikke lett å reagere med andre stoffer for å frigjøre forurensende partikler, og kan effektivt beskytte halvlederdeler mot kjemisk forurensning.