Alumina endeeffektor

Semicorex Alumina End Effector har dukket opp som et uunnværlig verktøy i det krevende området for halvlederproduksjon, der selv mikroskopiske ufullkommenheter kan kompromittere enhetens ytelse, rollen til presisjonswaferhåndtering kan ikke overvurderes. Alumina End Effector gir en unik kombinasjon av presisjon, renhet og holdbarhet som er avgjørende for å manipulere delikate silisiumskiver gjennom ulike fabrikasjonsprosesser.**

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Valget av materiale for Semicorex Alumina End Effector er drevet av høyrent aluminiumoksydkeramikks unike egnethet for de tøffe miljøene man møter i halvlederproduksjon:

Eksepsjonell renhet for forurensningskontroll: Alumina End Effector, med keramikk av høy renhet av aluminiumoksyd som substrat, er preget av deres ekstremt lave nivåer av urenheter, og sikrer at den ikke introduserer forurensninger som kan kompromittere de elektriske egenskapene eller ytelsen til sensitive halvlederenheter.

Høytemperaturstabilitet for prosessallsidighet:Alumina End Effector viser utmerket termisk stabilitet, og opprettholder sin strukturelle integritet og dimensjonale nøyaktighet selv ved de høye temperaturene som oppstår i prosesser som termisk oksidasjon, diffusjon og kjemisk dampavsetning.

Kjemisk treghet for tøffe miljøer:Den iboende kjemiske motstanden til Alumina End Effector gjør den ugjennomtrengelig for et bredt spekter av syrer, baser og løsemidler som vanligvis brukes i halvlederbehandling. Denne tregheten forhindrer korrosjon eller nedbrytning av slutteffektoren, sikrer dens langsiktige ytelse og minimerer risikoen for partikkelforurensning.

Robuste mekaniske egenskaper for forlenget levetid:Alumina-keramikk er kjent for sin hardhet, slitestyrke og evne til å tåle gjentatte sykluser med håndtering og rengjøring uten nedbrytning. Denne robustheten betyr forlenget levetid for Alumina End Effector, noe som reduserer utskiftingskostnader og nedetid.

Presisjonen, renheten og holdbarheten til Alumina End Effector har gjort den til en viktig komponent i en rekke kritiske produksjonsprosesser for halvledere:

Fotolitografi:Nøyaktig waferjustering og plassering er avgjørende i fotolitografi, der selv små avvik kan føre til feiljusteringsfeil og enhetsfeil. Alumina End Effector gir den nødvendige nøyaktigheten og stabiliteten for dette kritiske prosesstrinnet.

Kjemisk mekanisk planarisering (CMP):Evnen til å motstå de kjemisk aggressive slurryene og de mekaniske kreftene involvert i CMP gjør Alumina End Effector ideell for håndtering av wafere under denne kritiske prosessen, som planariserer waferoverflaten for påfølgende lagdeling.

Waferinspeksjon og metrologi:Den ikke-forurensende og ikke-skadelige naturen til Alumina End Effector gjør den ideell for håndtering av wafere under inspeksjons- og metrologiprosesser, for å sikre nøyaktige målinger og minimere risikoen for å introdusere defekter.