Semicorex aluminiumoksydfaglige baseplater er keramisk komponent med høy ytelse designet for presis skivehåndtering i halvlederproduksjon. Dens overlegne styrke, isolasjon og termisk stabilitet gjør den ideell for å kreve reneomsautomatiseringsmiljøer.*
Semicorex aluminiumoksydfaglige baseplater er keramiske produkter med høy renhet designet som holdbare og stabile baser for montering av arbeidskokker i halvlederfabrikasjonsutstyr. Disse platene gir kritisk mekanisk støtte og innretting for prosesseringsoperasjoner som litografi, etsning, avsetning og inspeksjon. Det er viktig å nøyaktig justere arbeidet Chuck med andre systemkomponenter for å sikre at skivebehandling kan oppstå med den nødvendige troskap. Platene produseres gjennom prosesseringsteknikker som er spesifikke for keramikk for å oppnå nødvendig flathet, holdbarhet med høy temperatur og langsiktig pålitelighet for å oppfylle de tøffe kravene til moderne halvlederproduksjon i både prosess- og reneomsmiljøer.
Semicorex aluminiumoksydmontering av baseplater er laget av høy renhetaluminiumoksydhar et renhetsnivå ≧ 99,5% (typisk). En aluminiumoksyd med høy renhet har gode mekaniske og termiske egenskaper så vel som hardhet. Alumina med høy renhet har utmerkede iboende elektriske isolasjonsegenskaper som også lar disse platene brukes i vakuum- og høyspenningsapplikasjoner der elektrisk interferens kan være et problem. Aluminiumoksyden vil være motstandsdyktig mot termisk sykling, noe som gjør at platene kan opprettholde bedre dimensjonal nøyaktighet enn de fleste materialer og er gunstig for å opprettholde justering eller strukturell stabilitet på grunn av redusert termisk ekspansjon. Denne faktoren er viktig for å sikre chuck repeterbarhet og implisitte prosesstoleranser, mens du opererer over utvidede produksjonssykluser.
I halvlederbehandlingssystemer er en monterende baseplate ikke bare en enhet for mekanisk festing. Det er mediet for termisk kontakt mellom chuck og resten av utstyret og er kritisk for termisk spredning, strukturell integritet og vibrasjonsisolasjon. Behandlingshandlinger som (men ikke begrenset til) CVD, PVD eller ionimplantasjon, der høye temperaturer og vakuumtrykk er vanlig, krever en monteringsbase for å være termisk resistent, kjemisk inert og resistent, mekanisk lyd og motstandsdyktig mot termisk støt. Kjemisk inerthet er viktig fordi et montering må være kompatibel med reaktive gasser, så vel som rengjøringskjemi, og forlenger festets levetid og forhindrer forurensning.
Hver aluminiumoksydsmonterende baseplate laget av Semicorex er maskinert til toleranser som er etterspurt av halvleder -OEM -er og utstyrsintegratorer. Platene er maskinert til tette toleranser for tykkelse, høydevariasjon og flathet for å sikre maksimal stabilitet og repeterbarhet. Disse monteringsplatene kan lages med monteringshull, spor eller tellerbaner til kundespesifikasjoner for bedre å imøtekomme arbeidskammer, mekaniske stadier eller annet utstyr. Alumina -keramikken behandles ved bruk av moderne sintring og presisjonsgravingsteknikker for å optimalisere en jevn mikrostruktur og overflatekvalitet for å sikre jevn termisk kontakt og justering for bruk over tid.
Semicorex aluminiumoksydfaglige baseplater brukes i en rekke applikasjoner, inkludert wafer -håndterere, robotoverføringssystemer, vakuum chuck -samlinger og metrologistadier. Denne påliteligheten og holdbarheten i en rekke krevende prosesssituasjoner, gjør dem til et produkt du velger med verktøyprodusenter som leter etter robuste, langvarige, keramiske komponenter med lite vedlikehold. Våre ingeniørgruppe samarbeider med kunder for å tilby unike løsninger som er spesifisert for hver plate for å maksimere effektiviteten for produksjon i en halvleder.
Alumina monteringsbaseplater er mer enn bare en mekanisk støtte; Det er en nøkkelkomponent i presisjonsteknikk i halvlederindustrien. Med utmerket mekanisk stabilitet, renhet og konfigurerbarhet sikrer de nøyaktig justering, lang levetid og pålitelig drift i et omfattende spekter av prosessverktøy. For høyytelsesmonteringsbaseplater, å oppfylle de høye forventningene til dagens halvlederprodusenter, Trust Semicorex.