Alumina robotarm

Semicorex Alumina Robot Arm er en keramisk del med høy ytelse designet for håndtering og overføringsoppgaver for skive i halvlederproduksjon. Denne robotarmen er laget av aluminiumoksyds keramikk med høy renhet.

Det som skiller seg ut til fordel for aluminiumoksummen er egenskapene tilaluminiumoksyd keramikkMekanisk styrke og hardhet. Somaluminiumoksyder mer ren, aluminiumoksyd opprettholder en bedre strukturell integritet og gjør den mer motstandsdyktig mot mekanisk slitasje og deformasjon. Som materiale er aluminiumoksyd et godt valg for robotdeler som brukes i delikate og repeterende skivehåndteringsoppgaver, dvs. når en robotarm trenger å utføre den samme funksjonen og ta kontakt med skiver, kan den mindre forvrengningen påført skiven av robotarmen koste et anleggstap. Den høye hardheten, dvs. stive overflater, kan hjelpe med slipemotstand og funksjonell liv, dvs. utvide levetiden og varigheten av service/ erstatning på en robotkomponent.

Utover dens mekaniske holdbarhet, er aluminiumoksydrobotarmen også en utmerket elektrisk isolator. Resistiviteten er opptil 10⁵ ω · cm og isolasjonsstyrken er opptil 15 kV/mm ved romtemperatur, noe som gir et mye tryggere miljø for å fungere, spesielt når du forstyrrer elektriske signaler må reduseres i behandlingsutstyret. Dette blir viktig når du beskytter sensitive halvlederkomponenter som overfører mellom prosesser med minimal risiko for skade på elektrostatisk utladning (ESD).

Alumina -keramikken er utmerket til å opprettholde stabiliteten over veldig høye temperaturer. Smeltepunktet er omtrent 2050 ° C og vil tåle høye temperaturer i termisk prosessering av halvleder uten skjevhet eller dimensjonal nøyaktighet. Den høye varmebestandigheten gjør at armen kan brukes i prosesser som rask termisk annealing (RTA) eller kjemisk dampavsetning (CVD), der presisjonsinnretting og termisk stabilitet er kritisk.

En av de andre viktige fordelene med aluminiumoksetarmen er dens inertness. Overflaten er inert til de fleste rengjøringsmidler og behandler gasser som brukes i halvlederproduksjon. Derfor vil det forbli forurensningsfri og ikke bidra til forurensning av skiveoverflater. Denne kjemiske inertness er nøkkelen til å oppnå ultra-rene produksjonsforhold og gi konsekvent enhetsytelse.

Aluminiumoksyd keramikker også et rimelig alternativ for halvlederverktøy. Det er lett tilgjengelig som råstoff, og maskineringsprosessene til aluminiumoksyd keramikk er godt forstått og lett skalerbar. Dette gjør det mulig å produsere reproduserbare og konsistente toleranser for høykvalitetsdeler til en konkurransedyktig pris. Blandingen av ytelse og prisgunstighet gjør aluminiumoksummen ideell for OEM og halvlederfabs hvor du trenger pålitelige automatiseringskomponenter som ikke bryter banken.

Oppsummert gir alumina -robotarmen høy mekanisk ytelse, høy dielektrisk ytelse, høy termisk motstand, høy kjemisk ytelse, alt med bevist produserbarhet til en økonomisk pris. Samlet gjør disse ytelsesegenskapene det pålitelig og effektivt for presisjonsfremhåndtering av applikasjoner i halvlederproduksjon, noe som muliggjør forbedret utbytte, potensielt reduserer forurensningsrisikoen og forbedrer den generelle utstyrseffektiviteten.