Alumina robotarmer

Semicorex alumina robotarmer er vanligvis installert i wafer-håndteringsrobotene, og tjener som wafer-overføringslutteffektorsom fungerer som sikker og presis overføring av halvlederskiver til nødvendige posisjoner. Gjennom sine indre lufthull og gasskanaler kan alumina-robotarmer generere jevnt undertrykk for å adsorbere halvlederskiver. Denne adsorpsjonsmetoden oppnår skånsom kontakt med waferoverflaten, som effektivt forhindrer uønskede overflateriper og mekaniske skader, og sikrer dermed allsidig beskyttelse for halvlederwafere.

Fordeler med alumina-robotarmer

Semicorex implementerer streng kvalitetskontroll for produktene sine med utgangspunkt i valg av råvarer.

Alumina-robotarmene er nøyaktig produsert av høy renhetaluminagranuleringspulver, som viser utmerkede egenskaper som følger.

1. Ultrahøy renslighet

Semicorex alumina robotarmer har høy materialrenhet og tett mikrostruktur, som gjør dem i stand til å unngå metallionfrigjøring og mikropartikkelavgivelse under operasjonen, og oppfyller dermed de strenge renslighetskravene til halvlederproduksjon.

2. Høy elektrisk isolasjonsytelse

Takket være deres høye elektriske isolasjonsytelse, er Semicorex alumina-robotarmer i stand til å minimere ladningsgenerering under drift. Denne pålitelige ytelsen kan effektivt unngå uønskede ladninger som overføres av alumina-robotarmer til halvlederkomponenter og redusere skaderisikoen på de sensitive halvlederkomponentene.

3. Gunstig kostnadsytelse

Forskjellig fraSiC robotarmer, alumina robotarmer tilbyr en økonomisk pris samtidig som den opprettholder stabil ytelse. Semicorex alumina robotarmer leverer utmerket mekanisk styrke, slitestyrke, varmebestandighet og korrosjonsmotstand, noe som gjør at de yter jevnt under tung belastning, høyfrekvent drift, høy temperatur og svært korrosive arbeidsforhold i lang tid. Denne overlegne holdbarheten forlenger effektivt levetiden til alumina-robotarmer, og reduserer effektiviteten og kostnadene ved komponentutskifting.

Anvendelser av Semicorex alumina robotarmer

Semicorex alumina robotarmer er mye brukt i frontenden av halvlederproduksjonsprosedyrer, inkludert etsing, tynnfilmavsetning, ioneimplantasjon og CMP-prosesser. De kan stabilt, sikkert og presist støtte, overføre og plassere halvlederskiver og komponenter på tvers av forskjellige prosesskamre og utstyr under vakuum og høy-rense driftsforhold.