Ringformete rillede alumina-chucker

Semicorex ringformete rillede alumina-chucker har en overflatestruktur som består av en rekke flere konsentriske ringformede spor. Når de er koblet til vakuumpumpen, danner disse sporene ringformede undertrykkssoner for stabilt å holde tynne skiver og arbeidsstykker med presis posisjonering. Semicorex ringformete rillede alumina-chucker fungerer godt under arbeidsforhold som krever streng planhetsstyring og jevnt fordelt adsorpsjonskraft, som brukes mye i waferholding, eksponeringsposisjonering, plasmaetsing, samt waferinspeksjon og overføringsprosesser.

Fordeler med Semicorex ringformete rillede alumina-chucker

1. Eksepsjonell motstand mot høye temperaturer

Alumina-keramikk fremstilt ved fortettingssintring viser bemerkelsesverdig termisk ytelse. På grunn av denne materialegenskapen yter Semicorex ringformete rillede alumina-chucker stabilt under ekstreme høye temperaturer arbeidsmiljøer uten strukturell deformasjon og ytelsesforringelse ved langvarig bruk.

2. Jevn adsorpsjonskraft

Semicorex ringformet rilletalumina chuckerhar flere ringformede spor på adsorpsjonsoverflaten, hvor stabile ringformede vakuumsoner er dannet. Denne konfigurasjonen muliggjør konsistent adsorpsjonskraft på tvers av hovedplatens kontaktområder, noe som dermed reduserer delvis skivedeformasjon og vridning betydelig.

3. Overlegen strukturell stabilitet og høy gjentatt posisjoneringsnøyaktighet

Med overlegen materialstivhet og strukturell stabilitet, Semicorex ringformete rillede alumina-chucker er i stand til å opprettholde utmerket flathet og konsistent posisjoneringsnøyaktighet under gjentatt vakuumklemming i lang tid.

4. Sterk kjemisk korrosjonsbestandighet

På grunn avaluminasin pålitelige kjemiske stabilitet, Semicorex ringformete rillede alumina-chucker har enestående motstand mot de fleste sure og alkaliske stoffer, samt ulike korrosive prosessgasser og er svært tilpasset utfordrende korrosive driftsforhold.

5. Utmerket renslighet

Takket være streng materialrenhetskontroll og fortettingsbehandling, slipper Semicorex ringformete rillede alumina-chucker sjelden partikler eller frigjør urenheter under bruk, noe som fullt ut tilfredsstiller de strenge lavkontamineringsstandardene i halvlederrenrom.

Hvorfor velge Semicorex?

Som det bransjeledende selskapet i Kina, støttes Semicorex med integrerte produksjonslinjer og et godt erfarent teknisk team. Vi kan tilby skreddersydd teknisk støtte og optimaliserte prosessløsninger til våre kunder og gi dem ikke-standard tilpasset produksjon av våre ringformete rillede alumina-chucker i materialrenhet, chuckers form, dimensjoner, flathet, toleranser og andre krav.