Keramiske fokusringer for halvledere

Semicorex keramikkfokusrings for halvledere er de ideelle løsningene skreddersydd for de tøffe driftsforholdene for plasmaetsing. Under den sofistikerte halvlederetsingsprosessen er det avgjørende å kontrollere plasmadistribusjonen nøyaktig, noe som kan sikre etsekammerstabilitet og konsistent halvlederetsingsensartethet. Som de uunnværlige komponentene som brukes i det avanserte etseutstyret, er fokusringer vanligvis plassert rundt halvlederskivene og kommer i direkte kontakt med dem. Ytelsen til fokusringer har direkte innvirkning på prosessens repeterbarhet, produktutbytte og utstyrets oppetid.

Fordeler med Semicorex keramiske fokusringer for halvledere

1. Ultrahøy materialrenhet

Renheten til vårCVD SiCmaterialet overstiger 99,9995 %. Dette kan effektivt forhindre forurensning av etsekammeret og halvlederskivene forårsaket av utilstrekkelig materialrenhet.

2. Eksepsjonell korrosjonsbestandighet

Semicorex keramiske fokusringer for halvledere er laget av CVD SiC, med utmerket motstand mot oksidasjon, erosjon og kjemisk korrosjon, og er spesielt effektive mot prosessgasser som HF og HCI, samt plasmagass.

3. Overlegen motstandsytelse

Motstandsuniformiteten til Semicorex keramiske fokusringer for halvledere er mindre enn 5 %.

Resistivitetsområder: Lav oppløsning. (<0,02 Ω·cm), mellomoppl. (0,2–25 Ω·cm), høy oppløsning. (>100 Ω·cm).

Funksjoner til Semicorex keramiske fokusringer for halvledere

1.Kontroller og uniformer kantens elektriske felt og plasmafordeling

Semicorex keramiske fokusringer for halvledere kan kontrollere fordelingen av det elektriske feltet inne i etsekammeret og oppnå en mer jevn plasmakappe rundt halvlederskiver, slik at plasma kan treffe waferoverflaten på en vertikal og jevn måte. På denne måten kan etsekanteffekten reduseres betraktelig og etsepresisjonen kan forbedres betydelig.

2. Beskytt den elektrostatiske chucken

Uten beskyttelse av fokusringer i etseprosessen, vil den elektrostatiske chucken bli utsatt for bombardement og erosjon av høyenergiplasma. Elektrostatiske chucker er laget av dyre materialer med ekstremt høye utskiftingskostnader. Bruk av fokusringer kan effektivt redusere plasmakorrosjon på den elektrostatiske chucken og minimere vedlikeholds- og utskiftingskostnadene til den elektrostatiske chucken.