Digelstøttebrett

Ved høytemperatur-halvlederproduksjon er stabilitet og presisjon avgjørende for å sikre konsistent krystallkvalitet. Semicorex Crucible Support Tray spiller en viktig, men ofte oversett rolle i å opprettholde integriteten til krystallvekstprosessen ved å gi et pålitelig grunnlag under ekstreme termiske og mekaniske forhold.

The Crucible Support Tray, også kjent som enkarbon/karbon (C/C)digelholder, er spesielt konstruert for å støtte kvarts- eller grafittdigler under veksten av enkeltkrystallsilisium. Plassert ved bunnen av det termiske feltet, må denne komponenten tåle langvarig eksponering for høye temperaturer samtidig som den opprettholder strukturell integritet og dimensjonsstabilitet. Dens robuste design sikrer at digelen forblir sikkert plassert gjennom hele prosessen, og minimerer vibrasjoner, deformasjoner eller feiljustering som kan påvirke krystallkvaliteten negativt.

Rollen til C/C-støttebrettet

Under veksten av monokrystallinsk silisium overstiger temperaturen ofte 1400°C. Tradisjonelle grafittmaterialer, selv om de er nyttige, møter ofte utfordringer med hensyn til levetid og deformasjon under den tunge vekten av smeltet silisium. Vår C/C Composite Crucible Support Tray løser disse smertepunktene.

Ved å bruke en karbonfiberforsterket matrise med høy styrke, tilbyr dette brettet en "nesten null" termisk ekspansjonsprofil og eksepsjonell bæreevne. Den fungerer som grensesnittet mellom digelen og den roterende akselen, og opprettholder et perfekt nivå for å forhindre smelteturbulens og krystalldefekter.

Tekniske spesifikasjoner og utmerket materiale

Tetthet: ≥ 1,3 g/cm³

Bøyestyrke: ≥ 110 MPa

Koeffisient for termisk ekspansjon (CTE): ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /K

Trykkstyrke:  ≥ 160 MPa