CVD og CVI vakuumovn

Semicorex CVD og CVI Vacuum Furnace er et høykvalitetsverktøy designet for prosesser for kjemisk dampavsetning (CVD). Reaksjonstemperaturene opp til 2200°C. Den er i stand til å avsette et bredt spekter av materialer, inkludert silisiumkarbid, bornitrid, grafen og mer. CVD-ovnen har en robust design og er laget av materialer av høy kvalitet, noe som sikrer pålitelighet og holdbarhet for langvarig bruk. Den har både horisontale og vertikale strukturer.

Søknad:C/C kompositt bremseskive, smeltedigel, form og etc.

Egenskaper til Semicorex CVD og CVI Vacuum Furnace

1. Robust design laget av materialer av høy kvalitet for langvarig bruk;

2. Nøyaktig kontrollert gasslevering gjennom bruk av massestrømskontrollere og høykvalitetsventiler;

3. Utstyrt med sikkerhetsfunksjoner som overtemperaturbeskyttelse og gasslekkasjedeteksjon for sikker og pålitelig drift;

4. Bruke flere temperaturkontrollsoner, stor temperaturuniformitet;

5. Spesielt designet avsetningskammer med god tetningseffekt og god anti-kontamineringsytelse;

6. Bruke flere avsetningskanaler med jevn gassstrøm, uten avsetningsdøde hjørner og perfekt avsetningsoverflate;

7. Den har behandling for tjære, fast støv og organiske gasser under avsetningsprosessen

Valgfrie funksjoner:

• Ovnsdør: skrue/hydraulisk/manuell høydetype; svingåpning/parallell åpning (stor størrelse

ovnsdør); manuell tett/ autolås-ring tett

• Ovnskar: alt karbonstål/innerlag rustfritt stål/alt rustfritt stål

•Ovnsvarmsone: myk karbonfilt/myk grafittfilt/stiv komposittfilt/KFK

• Varmeelement og muffe: isostatisk pressegrafitt/grafitt med høy renhet, styrke og tetthet/grafitt i fin størrelse

• Prosessgasssystem: volum/massestrømmåler

• Termoelement: K type/N type/C type/S type

*Overnevnte parametere kan justeres til prosesskravene, de er ikke som akseptstandard, detaljspesifikasjonen. vil fremgå av teknisk forslag og avtaler.