Sokkel med smeltet kvarts

Ved halvlederfabrikasjon fungerer Fused Quartz Pidestal som en støttestruktur for kvartsbåten, som holder skivene. Ved å opprettholde en konstant temperatur bidrar det til å oppnå jevn tynnfilmavsetning, en kritisk faktor for ytelsen og påliteligheten til halvlederenheter. Sokkelen sikrer at termisk og lysfordeling i prosesskammeret er jevn, og forbedrer dermed den generelle kvaliteten på avsetningsprosessen.

Fordeler med Fused Quartz Material

1. Høy temperatur motstand

Fused Quartz Pidestal har et mykningspunkt på omtrent 1730°C, slik at den tåler langvarig bruk ved temperaturer fra 1100°C til 1250°C. Dessuten tåler den kortvarig eksponering for temperaturer så høye som 1450°C.

2. Korrosjonsbestandighet

Fused Quartz Pidestal er kjemisk inert overfor de fleste syrer, med unntak av flussyre. Dens syrebestandighet overgår keramikk med 30 ganger og rustfritt stål med 150 ganger. Ved høye temperaturer kan ingen andre materialer matche den kjemiske stabiliteten til smeltet kvarts, noe som gjør det til et ideelt valg for tøffe kjemiske miljøer.

3. Termisk stabilitet

En av de fremtredende egenskapene til Fused Quartz Pidestal er dens minimale termiske ekspansjonskoeffisient. Denne egenskapen gjør at den tåler alvorlige temperaturskift uten å sprekke. For eksempel kan den raskt varmes opp til 1100 °C og deretter senkes i vann ved romtemperatur uten å bli skadet – en viktig egenskap for produksjonsprosesser med høy stress.

Produksjonsprosess

Produksjonsprosessen for Fused Quartz Pidestal er omhyggelig kontrollert for å sikre de høyeste kvalitetsstandardene. Sokkelene produseres gjennom termoforming og sveiseprosesser utført i renromsmiljøer av klasse 10 000 eller høyere. Etterfølgende rengjøring med ultrarent vann (18 MΩ)sikrer ytterligere renheten og ytelsen til produktet. Hver Fused Quartz Pidestal gjennomgår streng inspeksjon, rengjøring og pakking i et renrom i klasse 1000 eller høyere for å møte de strenge kravene til halvlederproduksjon.

Høyrent ugjennomsiktig kvartsmateriale

For å effektivt blokkere varme og lys, bruker Fused Quartz Pedestal et ugjennomsiktig kvartsmateriale med høy renhet. Dette materialets unike egenskaper forbedrer sokkelens evne til å opprettholde en stabil og jevn temperatur i prosesskammeret, og sikrer dermed den jevne kvaliteten på tynnfilmavsetning på wafere.

Bredt spekter av applikasjoner

De eksepsjonelle egenskapene til Fused Quartz Pidestal gjør den egnet for en rekke bruksområder innen halvlederindustrien. I ALD-prosesser støtter den den nøyaktige kontrollen av tynnfilmvekst på atomnivå, essensielt for produksjon av avanserte halvlederenheter. Under LPCVD-prosesser bidrar pidestallens termiske stabilitet og lysblokkerende evner til jevn filmavsetning, og forbedrer enhetens ytelse og ytelse.

I diffusjonsprosesser sørger Fused Quartz Pedestals høytemperaturmotstand og kjemiske inerthet pålitelig og konsistent doping av halvledermaterialer. Disse prosessene er kritiske for å definere de elektriske egenskapene til halvlederenheter, og bruk av materialer av høy kvalitet som smeltet kvarts er avgjørende for å oppnå optimale resultater.