GaN-on-SiC Epitaxial Wafers Carrier

Semicorex er en ledende uavhengig eid produsent av silisiumkarbidbelagt grafitt, presisjonsmaskinert høyrenhetsgrafitt med fokus på silisiumkarbidbelagt grafitt, silisiumkarbidkeramikk, MOCVP-områdene innen halvlederproduksjon. Vår GaN-on-SiC Epitaxial Wafer Carrier har en god prisfordel og dekker mange av de europeiske og amerikanske markedene. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Semicorex SiC Coating of GaN-on-SiC epitaxial wafers Carrier er et tett, slitesterkt silisiumkarbid-belegg (SiC). Den har høye korrosjons- og varmebestandighetsegenskaper samt utmerket varmeledningsevne. Vi påfører SiC i tynne lag på grafitten ved å bruke prosessen med kjemisk dampavsetning (CVD).
Vår GaN-on-SiC epitaxial wafers-bærer er designet for å oppnå det beste laminære gassstrømningsmønsteret, og sikrer jevn termisk profil. Dette bidrar til å forhindre forurensning eller diffusjon av urenheter, og sikrer epitaksial vekst av høy kvalitet på waferbrikken.
Kontakt oss i dag for å lære mer om vår GaN-on-SiC Epitaxial Wafer Carrier.

Parametre for GaN-on-SiC epitaxial wafers-bærer

Hovedspesifikasjoner for CVD-SIC belegg
SiC-CVD-egenskaper
Krystallstruktur	FCC Î² fase
Tetthet	g/cm³	3.21
Hardhet	Vickers hardhet	2500
Korn størrelse	Î¼m	2~10
Kjemisk renhet	%	99.99995
Varmekapasitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bend, 1300â)	430
Termisk ekspansjon (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Egenskaper til GaN-on-SiC Epitaxial Wafers Carrier

- Unngå å flasse av og sørg for belegg på alle overflater
Høy temperatur oksidasjonsmotstand: Stabil ved høye temperaturer opp til 1600°C
Høy renhet: laget av CVD kjemisk dampavsetning under høytemperaturkloreringsforhold.
Korrosjonsbestandighet: høy hardhet, tett overflate og fine partikler.
Korrosjonsbestandighet: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
- Oppnå det beste laminære gassstrømningsmønsteret
- Garanterer jevnhet av termisk profil
- Forhindre enhver forurensning eller diffusjon av urenheter