Glassaktig karbonbelegg filt

Semikorex glassaktig karbonbelegg filt fungerer som et indre isolasjonslag i silisiumkarbid epitaksiale reaktorer. Det er et isolasjonsmateriale med høy ytelse designet for avanserte termiske miljøer. Dette produktet overvinner typiske halvlederproduksjonsutfordringer for høye temperaturer ved å tilby overlegne løsninger på grunn av sine lette og utmerkede termiske isolasjonsegenskaper tilgrafitt filt, kombinert med overflateintegriteten og det kjemiske inertheten som ble gitt av et glassaktig karbonbelegg.

Basismaterialet er en høy renhetgrafitt filtvalgte for sin lave termiske konduktivitet høy temperaturstabilitet og lett vekt. Normal grafitt -filt har vanligvis overflatefiberutskred og partikkelgenerering ved forhøyede temperaturer som kan forurense prosessmiljøet i sensitive epitaksiale systemer. For å dempe dette problemet er overflaten av grafittfiltet jevnt belagt med et lag med glassaktig karbon-en tett, ikke-porøs form for karbon kjent for sin kjemiske inertness, lav gasspermeabilitet og eksepsjonell termisk stabilitet.

Glassaktig karbon er et ikke-grafitisert karbon som kombinerer egenskapene til glass og keramikk. I motsetning til krystallinsk grafitt, er det et amorf, nesten 100% SP2-hybridisert karbonmateriale, som dannes ved høye temperatursintering av polymeriserte organiske forløpere, som fenolharpiks, furfuryl alkoholharpiks, etc., i en inert gassatmosfære. Fordi den er svart over hele og har en glatt overflate som ligner på glass, kalles den glassaktig karbon.

Glassaktig karbonbelegg kan eliminere generering av ovnpartikler, gi forseglede overflatesporer, ha utmerkede demoldingsegenskaper og redusere permeabiliteten, noe som gjør dette materialet veldig egnet for kontinuerlige støpestøper og produkter i halvlederindustrien. Dette materialet har et bredt spekter av applikasjoner i halvlederindustrien, spesielt i grafittdeler som enkeltkrystall silisiumtrekking av utstyrskomponenter, epitaksiale vekstkomponenter, kontinuerlige støpestøpinger, glassforseglingsjigger, etc.

Glassaktig karbon har høy temperaturmotstand opp til 3000 ° C i inert gass eller vakuum, og i motsetning til alle andre keramiske og metalliske høye temperaturmaterialer, øker styrken til glassaktig karbon med økende temperatur opp til 2700k, og den blir ikke sprø og har ekstremt høy termisk støtmotstand, så kortvarme og avkjølingstider er ikke noe problem. I tillegg har glassaktig karbon lav masse, lav varmeabsorpsjon og lav termisk ekspansjon, så det er egnet for nesten alle applikasjoner med høy temperatur.

Det glassaktig karbonbelegget spiller en avgjørende rolle i å forsegle overflateporene til grafittfiltet, og reduserer frigjøringen av partikler og karbonstøv under drift betydelig. Dette er spesielt kritisk i SIC -epitaksiale vekstprosesser, der til og med minimal forurensning kan kompromittere skivekvalitet og enhetsytelse. Ved å innkapsling av den porøse strukturen til filt med et glatt, hardt glassaktig karbonskall, sikrer belegget et rent og stabilt termisk miljø i reaksjonskammeret.

Viktige fordeler med glassaktig karbonbelegg filt inkluderer:

Redusert partikkelskur: Det tette belegget låser effektivt i løse fibre og partikler, og forhindrer forurensning av skiver og reaktorkomponenter.

Høy termisk stabilitet: Både grafittfilt og glassaktig karbon tåler temperaturer som overstiger 2000 ° C i inerte eller vakuumatmosfærer, noe som gjør produktet ideelt for SIC-prosesser med høy temperatur.

Kjemisk inerthet: Den glassaktig karbonoverflaten er resistent mot de fleste syrer og etsende gasser, og forlenger operasjonell levetid på isolasjonslaget under tøffe forhold.

Forbedret prosesskonsistens: Den minimerte partikkelgenerering bidrar til et mer stabilt og repeterbart epitaksialvekstmiljø, som er avgjørende for å produsere SIC-skiver av høy kvalitet.

Bruksområder av glassaktig karbonbelegg som føles utvides først og fremst til SIC epitaksiale vekstovner, hvor det brukes som et termisk isolasjonslag i den varme sonen. Produktet er vanligvis installert som et fôrmateriale i øvre eller nedre isolasjonsstabler, der det gir både termisk beskyttelse og renslighetssikring.