Grafitt chuck

Semicorex Graphite Chuck er en avgjørende komponent innen polysilisiumproduksjon, mye brukt i solindustrien. Etter hvert som etterspørselen etter silisiumskiver med høy renhet øker, har behovet for prosesseringsverktøy med høy ytelse som grafitt chucks blitt essensielt. Produsert av spesialitetsgrafitt med høy renhet, er våre grafitt chucks designet for å tåle ekstreme temperaturer, kjemisk eksponering og mekaniske spenninger mens de opprettholder dimensjonsstabilitet.*

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Semikorex grafitt chuck er konstruert fraSpesialisert grafitt, anerkjent for sin enestående termiske og kjemiske motstand. Et unikt eksempel på en slik grafitt chuck som spesielt ble konstruert fra den formen for grafitt fordi den er kjent for sin meget høye motstand mot kjemikalier og til varme. Dette gjør Chucks veldig langvarige, og de vil utføre under de vanskeligste forholdene som er under bruk i kjemisk dampavsetning (CVD) eller plasma-etsing eller til og med i en høy temperaturovn. Som sådan vil høy renhet med svært lave urenheter allerede bety at de ikke ville forårsake forurensning under produksjon av polysilicon. De er i stand til å bære temperaturer langt over 2000 ° C uten bemerkelsesverdig deformasjon siden de er veldig stabile gjennom økt temperatur. I tillegg har de også overlegen resistens mot de fleste kjemikalier og vil derfor overleve under svært vanskelige forhold, som i saltsyre (HCl) eller silisiumtetraklorid (SICL4). Høy mekanisk styrke betyr ennå at Chuck er i stand til å beholde sin form selv når den blir utsatt for en kontinuerlig belastning.

Grafitt chuck er kritisk i skivebehandling og veksten av krystaller; De spiller en primær rolle i all produksjon på et hvilket som helst trinn, som kjemisk dampavsetning (CVD), hvor de sikrer ensartet silisiumavsetning. Under skiver og polering leverer de stabil støtte for skjæring og overflatebehandling. I termisk prosessering fungerer de som en varmebestandig base for silisiumskive-annealing og dopingprosesser, noe som forbedrer effektiviteten og kvaliteten på produksjonslinjen betydelig.

Hvordan sikrer vi enhetligheten av ytelsen til vårgrafitt?

For det første karbonisering. Ovnen vår har bare 115 kubikkmeter. Vårt tekniske team vil teste temperaturfeltet med grafittprodukter i forskjellige områder av hver ovn. I den lave temperaturtilstanden (0-200 °) når temperaturen begynner å stige, vil vi kontrollere den ved omtrent ± 10 °, og i høy temperaturtilstand (over 600 °) vil vi kontrollere den ved ± 1 °. Vi vil ikke bare teste temperaturfeltet mellom forskjellige grafitter, men også teste overflaten og den indre temperaturen til hvert stykke grafittmateriale, og kontrollere det ved ± 3 °. Vi tester 8 temperaturpunkter i hver ovn i karboniseringsovnen.

Den andre er grafitisering. Når vi tar 500 kg som eksempel, vil vi også teste 8 temperaturpunkter. Prøver blir tilfeldig inspisert i enhver posisjon av det grafitiserte produktet for destruktiv testing. Etter ødeleggelse testes 24 poeng. Tester utføres separat fra XYZ -aksen for å sikre dens enhetlighet. De fleste selskaper i bransjen vil bare teste X -aksen eller høyst XY -aksen.

Generelle produsenter tester bare 6-8 poeng, og de bedre tester 12 poeng, mens vi tester 24 poeng.

Semicorex Graphite Chuck er en uunnværlig løsning for Polysilicon-produsenter som søker høy ytelse, pålitelig og kostnadseffektiv verktøy. Med avanserte materialegenskaper og presisjonsteknikk, forbedrer produktet vårt effektiviteten og kvaliteten på silisiumskivproduksjon i solindustrien. For mer informasjon eller tilpassede spesifikasjoner, vennligst kontakt oss i dag.