Grafitt digler

Semikorex grafitt digler er kritiske komponenter i halvlederproduksjonsprosessen, spesielt i krystallvekststadiet. Disse høyytelsesbeholderne er konstruert for å motstå de ekstreme forholdene som kreves for å produsere silisium eller sammensatt halvlederkrystaller med høy renhet gjennom metoder som CzochRalski (CZ) -prosessen eller FLOAT Zone (FZ) -teknikken.

En hovedfunksjon av grafitt digler er å motstå og støtte ekstremt høye temperaturer, typisk over 2000 ° C, hvor tredje generasjons halvledermaterialer som silisiumkarbid og galliumnitrid ofte syntetiseres. Nyskrublinger laget av grafitt med høy renhet viser utmerket motstand mot høye temperaturer som opprettholder sine fysiske og kjemiske tilstander på så ekstreme nivåer uten noen form for nedbrytning eller til og med metamorfose. God termisk ledning med grafittkruer betyr at de ikke bare vil utføre varme jevnt, men også sette opp et stabilt temperaturfelt. Dette spiller avgjørende under smelte- og krystalliseringsprosessene siden ensartet temperaturfordeling vil tillate vekstmateriale under mer eller mindre ekvivalente forhold, og dermed redusere krystalldefekter og tillate kvalitetssemikonduktorkrystaller.

I silisiumkarbid- eller galliumnitridkrystallvekstprosesser (for eksempel dampfase epitaxy CVD eller fysisk damptransport PVT), brukes grafitt digler til å holde råvarer og gi et kontrollert vekstmiljø. Den kjemiske inertiteten til digelen sikrer at den ikke kjemisk reagerer med halvledermaterialet ved høye temperaturer, og dermed opprettholder materialets høye renhet. Samtidig hjelper den gode termiske ledningsevnen til grafittgruppen til å danne en jevn temperaturgradient, og gir ideelle forhold for krystallvekst og reduserer urenheter og strukturelle defekter.

Den kjemiske inertiteten til grafitt digler er et sentralt trekk i rensing av halvledermaterialer. Dets grafittmateriale med høy renhet kan isolere ekstern forurensning og forhindre at urenheter kommer inn i det smeltede halvledermaterialet. Overflaten på grafittgruppen kan også belegges (for eksempel silisiumkarbidbelegg) for å forbedre dens oksidasjonsmotstand og korrosjonsmotstand, noe som ytterligere sikrer høy renhet og høy stabilitet i produksjonsprosessen.