Grafitt elektrode

Semicorex Graphite Electrode er en høyrenhet, presisjonsprodusert grafittkomponent for bruk i termiske halvlederapplikasjoner, hvor elektrisk ledningsevne, termisk stabilitet og dimensjonsnøyaktighet er avgjørende. Faktisk brukes denne typen elektroder i høytemperaturovner, epitaksereaktorer og termiske prosesseringskamre, noe som letter stabil strømledning, varmeoverføring og stabilitet under aggressive temperatur- og atmosfæreforhold. På grunn av den ekstreme renheten, jevnheten til den solide strukturen og de høye mekaniske egenskapene til Semicorex grafittelektroder, kan de gi pålitelig termisk ytelse som varmeelementer i krevende halvlederapplikasjoner

Grafitteletroden er laget av høykvalitets finkornet grafittmateriale, hver og en er laget ved hjelp av en avansert sekvens av ekstrudering, høytemperaturkarbonisering og grafitisering. Grafittmikrostrukturen er designet for omtrent konstant elektrisk resistivitet, høy termisk ledningsevne og mekanisk stabilitet. Sluttproduktet er en termisk leder med høy renhet som opprettholder en fysisk tilstand og en jevn fordeling av strøm i miljøer med høy effekt, samt raske temperatursvingninger.

Ultra ytelse i vårgrafitt

Vår grafitt garanterer overlegen ytelsesenhet. For det første, under karboniseringsprosessen, har ovnene våre bare 115 kubikkmeter. Vårt tekniske team overvåker temperaturfeltet til grafittprodukter i forskjellige områder av hver ovn. Ved det innledende lavtemperaturstadiet (0-200°C) kontrollerer vi temperaturen innenfor ±10°C, og ved høye temperaturer (over 600°C), innenfor ±1°C. Vi overvåker ikke bare temperaturfeltet mellom forskjellige grafittpartikler, men også overflaten og den indre temperaturen til hvert enkelt grafittstykke, og kontrollerer det innenfor ±3°C. Vi overvåker 8 temperaturpunkter i hver karboniseringsovn.

For det andre, under grafitiseringsprosessen, med en 500 kg batch som eksempel, overvåker vi også 8 temperaturpunkter. Etter grafitisering prøver vi tilfeldig og tester destruktivt 24 punkter langs X-, Y- og Z-aksene for å sikre ensartethet. De fleste selskaper i bransjen tester kun X-aksen, eller på det meste XY-aksen, med typiske produsenter som tester bare 6-8 poeng, og bedre tester 12 poeng. Vi tester 24 poeng.

I det termiske halvlederfeltet er grafittelektroden en kritisk del av oppvarmingsenheten, som leder elektrisk strøm inn i varmesonen og tillater kontrollert fordeling av temperatur over en spesifikk prosess, som oksidasjon, diffusjon, LPCVD eller epitaksi. Grafittelektroden må ha en pålitelig driftsrolle ved temperaturer over 2000°C og gjøre det samtidig som den motstår oksidasjon, forvrengning eller forurenser oppvarmingsstedet.

Semicorex grafittelektroder har enestående elektrisk ledningsevne, noe som muliggjør effektiv kraftlevering med minimalt tap, og de har utmerket termisk ledningsevne, noe som tillater rask jevn varmeoverføring i ovnen. Kombinasjonen av lav termisk ekspansjon og høy mekanisk styrke reduserer deformasjon og sprekker under termisk syklus, og gir stabil oppførsel over lang levetid. Hver elektrode er maskinert til strenge dimensjonstoleranser og fin overflatefinish for å sikre jevn kontakt og ubetydelig elektrisk motstand på kontaktflaten.

Med de spesifikke kravene til halvlederprosesser i tankene, kan Semicorex konstruere tilpassede elektrodedesign for å passe til enhver ovnskonfigurasjon og strømspesifikasjon. Ulike diametre, lengder, typer tilkoblinger eller overflatebehandlinger kan gjøres tilgjengelige. Når det er nødvendig, kan beleggmaterialer, som SiC eller pyrolytisk karbon, påføres for å støtte oksidasjonsmotstand og levetid i miljøer med høyt oksygen eller reaktive gasser.

Den høye renheten tilgrafittmaterialetjener til å sikre utrolig lave nivåer av metalliske urenheter (og gassformige urenheter), ofte mer enn 99,999 % karbon. Slike lave nivåer av urenheter bidrar til å unngå kontaminering av halvlederskiver under termisk behandling. Kombinert med den betydelige dybden av maskinering og polert overflate, møter Semicorex grafittelektroder både den mekaniske og kjemiske stabiliteten til toppmoderne wafer-teknologi.

Enten den brukes i diffusjonsovner, epitaksiale reaktorer eller høytemperaturbehandlingsutstyr, gir Semicorex Graphite Electrode uovertruffen ytelse i de mest krevende termiske miljøene. Ved å kombinere høy renhet, presis geometri og avansert materialbehandling, leverer Semicorex en elektrodeløsning som sikrer stabil strømledning, konsistent oppvarming og langsiktig driftssikkerhet som er avgjørende for neste generasjons halvlederproduksjon.