Grafittvarmer for varm sone

Homogen temperaturfordeling:Graphite Heater For Hot Zone er kjent for sine ensartede varmeegenskaper, oppnådd gjennom en kombinasjon av omhyggelig materialbehandling og presisjonsbearbeiding. Denne homogeniteten sikrer en konsistent temperaturprofil over hele varmeoverflaten, og minimerer termiske gradienter som kan føre til ujevn waferbehandling, redusert utbytte og inkonsekvent enhetsytelse.

Eksepsjonell korrosjonsbestandighet:Grafittvarmeren for varm sone demonstrerer bemerkelsesverdig motstand mot en rekke korrosive gasser og kjemikalier som ofte forekommer i høytemperatur-halvlederbehandling. Denne iboende tregheten sikrer langsiktig varmestabilitet og ytelse, minimerer forurensningsrisiko og forlenger driftslevetiden.

Overlegen oksidasjonsmotstand:I motsetning til vanlig grafitt, gir Graphite Heater For Hot Zone overlegen motstand mot oksidasjon, selv ved høye temperaturer. Denne egenskapen er avgjørende for å opprettholde varmerens integritet og forhindre dannelse av partikkelforurensning i prosesskammeret.

Ultra-høy kjemisk renhet:Graphite Heater For Hot Zone behandles for å oppnå ultrahøye renhetsnivåer, og minimerer risikoen for å introdusere uønskede forurensninger i halvlederprosesseringsmiljøet. Denne eksepsjonelle renheten er avgjørende for å opprettholde integriteten til delikate halvledermaterialer og sikre de ønskede elektriske og optiske egenskapene til fabrikkerte enheter.

Høy mekanisk styrke og stabilitet:Graphite Heater For Hot Zone har enestående mekanisk styrke og dimensjonsstabilitet ved høye temperaturer, noe som muliggjør fremstilling av robuste varmeelementer som er i stand til å motstå påkjenningene ved høytemperaturdrift, inkludert termisk syklus og mekanisk påkjenning.