Grafitt varmeelementer

Semicorex grafittvarmeelementer har blitt essensielle komponenter i halvlederproduksjon, noe som muliggjør de nøyaktige og kontrollerte termiske miljøene som kreves for avansert wafer-behandling. Deres unike kombinasjon av materialegenskaper, designfleksibilitet og ytelsesfordeler gjør dem ideelle for å møte de strenge kravene til neste generasjons fabrikasjon av halvlederenheter. Vi i Semicorex er dedikert til å produsere og levere høyytelses grafittvarmeelementer som kombinerer kvalitet med kostnadseffektivitet.**

Send forespørsel

produktbeskrivelse

1. Presisjonstemperaturkontroll for forbedrede prosessresultater:

Semicorex grafittvarmeelementer, kombinert med sofistikerte temperaturkontrollsystemer, muliggjør tett temperaturregulering og rask termisk ramping, slik at produsenter kan finjustere prosessparametere og oppnå optimale resultater.

2. Eksepsjonell varmeuniformitet og konduktivitet:

Grafittvarmeelementene viser eksepsjonell jevnhet i varmestrukturen, og sikrer jevn varmefordeling over hele varmeoverflaten. Dette eliminerer varme flekker og temperaturgradienter som kan føre til inkonsekvent waferbehandling, variasjoner i filmavsetning eller defekter i krystallvekst. Og deres utmerkede termiske ledningsevne muliggjør effektiv varmegenerering og overføring til målsubstratet eller prosesskammeret, denne effektiviteten minimerer energiforbruket, reduserer behandlingstiden og bidrar til totale kostnadsbesparelser.

3. Robusthet under termisk stress:

Halvlederproduksjon involverer ofte raske temperaturendringer og ekstrem termisk syklus. Grafittvarmeelementene er konstruert for å tåle disse krevende forholdene, og opprettholder deres strukturelle integritet selv under betydelig termisk stress. Denne robustheten sikrer konsistent ytelse og forlenget driftslevetid, minimerer nedetid og reduserer vedlikeholdsbehov.

4. Dimensjonsstabilitet ved høye temperaturer:

Å opprettholde nøyaktige dimensjoner er avgjørende for nøyaktig waferposisjonering og prosesskontroll. Grafittvarmeelementenes lave termiske ekspansjonskoeffisient sikrer minimale dimensjonsendringer selv ved høye driftstemperaturer. Denne dimensjonsstabiliteten garanterer konsistente oppvarmingsmønstre, presis temperaturkontroll og repeterbare prosessresultater.

5. Overlegen oksidasjonsmotstand:

Eksponering for høye temperaturer og oksiderende miljøer kan forringe ytelsen og levetiden til varmeelementer. Grafittvarmeelementene viser utmerket oksidasjonsmotstand, og danner et beskyttende oksidlag ved høye temperaturer. Denne naturlige passiveringsbarrieren forhindrer ytterligere oksidasjon og nedbrytning, og sikrer langsiktig ytelse og pålitelighet i krevende prosesseringsmiljøer for halvledere.

6. Inert til å behandle kjemikalier:

Halvlederfabrikasjon bruker et bredt spekter av reaktive gasser og kjemikalier. Grafittvarmeelementenes iboende kjemiske treghet gjør dem svært motstandsdyktige mot korrosjon og nedbrytning fra disse harde stoffene. Denne kompatibiliteten sikrer lang levetid og forhindrer kontaminering av sensitive wafere eller prosesskamre.

7. Skreddersydde design for spesifikke bruksområder:

Semicorex grafittvarmeelementer kan maskineres nøyaktig til komplekse former og konfigurasjoner for å møte de spesifikke kravene til ulike halvlederprosesser. Denne designfleksibiliteten tillater optimert varmefordeling, målrettede oppvarmingssoner og integrering i mangfoldig prosessutstyr, inkludert raske termiske glødesystemer, kjemiske dampavsetningskamre og diffusjonsovner.