Horisontal waferkassett

Materialegenskaper

Semicorex Horizontal Wafer Cassette er et viktig verktøy i halvlederindustrien for å beskytte og håndtere wafere i ulike faser av produksjonen. Ofte kalt wafer-bærere, er disse kassettene designet for å holde og flytte flere wafere av samme størrelse. De sikrer utmerket ytelse under en rekke produksjonsforhold ved å møte spesifikke prosesskrav, for eksempel termisk prosessering, og er tilgjengelige i et bredt spekter av materialer.

Ulike materialvalg

Horisontale waferkassetter kommer i en rekke høyytelsesmaterialer for å tilfredsstille de ulike kravene til halvlederproduksjon. Disse gir enestående kjemisk motstand og termisk stabilitet og inkluderer PVDF, ECTFE Halar, PFA Teflon og PTFE Teflon. Alternativer av rustfritt stål som 304L og 316 anbefales for applikasjoner som krever økt mekanisk styrke og motstand mot korrosjon. Naturlig polypropylen brukes også på grunn av dets økonomiske og lette egenskaper, som gir fleksibilitet i påføringen samtidig som integriteten til waferhåndteringsprosedyren bevares.

Funksjoner av avansert design

Med egenskaper som kan justeres for å møte visse driftskrav, er horisontale waferkassetter møysommelig konstruert. Disse består av sideåpningsprofiler, underlagskontaktpunkter, underlagets stigning og avstand, og størrelser og former som kan endres. Deres tilpasningsevne i en rekke prosesser økes av deres allsidighet i substratorientering og kapasitet til å håndtere en rekke substratstørrelser. Dessuten kan automatiseringsfunksjoner og kassetthåndteringsmuligheter, som avtakbare håndtak for økt bekvemmelighet, legges til disse kassettene.

Søknader

I halvlederproduksjon er bruken av horisontale waferkassetter avgjørende for å garantere sikker og effektiv håndtering av wafere i en rekke prosedyrer.

Horisontale wafer-kassetter er laget av solide materialer av høy kvalitet og tilbyr et sterkt forsvar mot fysisk skade og forurensning, to store problemer i halvlederinnstillinger. Arkitekturen til kassettene beskytter de skjøre skivene under lagring og transport ved å redusere eksponering for eventuelle forurensninger.

Forbedret rengjøring og tørking

Bedre vaske- og tørkeresultater er muliggjort av det enorme åpningsområdet i utformingen av horisontale waferkassetter. Denne egenskapen er avgjørende for å bevare waferens renhet, noe som reduserer muligheten for feil og forbedrer kaliberet til de ferdige halvlederenhetene.

Effektivitet av kjemisk flyt og prosessering

For å minimere materialfelleflekker og maksimere kjemisk gjennomstrømningsdynamikk, er horisontale waferkassetter designet. For å forbedre kjemisk flyt og garantere fullstendig dekning og effektiv behandling i kjemiske bad, kan en rekke ekstra funksjoner legges til.

Sikker transport og justering av wafere

Den horisontale Wafer Cassette-designen er preget av presis wafer-justering, som garanterer at wafere holdes godt på plass under transport. Dette reduserer muligheten for brudd eller feiljustering, noe som kan føre til dyre feil eller forsinkelser i prosessen. Waferhåndtering må gjøres sikkert for å bevare integriteten til halvlederproduksjonsprosessen.

Effektivitet i arbeidsflyt og ergonomi

Horisontale waferkassetter er enkle å bruke og effektive på grunn av deres ergonomiske design, som effektiviserer lasting og lossingsprosedyren. I renromsinnstillinger forbedrer denne enkle bruken arbeidsflyteffektiviteten, og muliggjør mer effektive prosesser og mindre håndteringstid. Produsenter av halvledere kan øke effektiviteten og opprettholde strenge renslighetsstandarder ved å forenkle disse prosedyrene.