Indre guiderør

Semicorex Inner Guide Tube er en presisjonskonstruertkarbon/karbon (C/C) komponentdesignet for avanserte termiske feltapplikasjoner ved høye temperaturer, spesielt i veksten av silisiumkrystaller med høy renhet. Som et kritisk element i krystallvekstovner, spiller denne komponenten en sentral rolle i å forme og stabilisere den termiske gradienten, og sikre optimal krystalldannelse og konsistent materialkvalitet.

Inner Guide Tube er produsert av karbonfiberforsterket karbonkompositt med høy tetthet, og tilbyr eksepsjonell strukturell integritet og termisk stabilitet under ekstreme forhold. Med en tetthet på ≥1,35 g/cm³ og en bøyestyrke på ≥110 MPa, opprettholder den mekanisk robusthet selv under langvarig eksponering for høye temperaturer. Disse egenskapene er essensielle i silisiumproduksjon av halvlederkvalitet, der selv mindre svingninger i termiske forhold kan påvirke krystallens jevnhet og defektrater betydelig.

Kjernefunksjonalitet: Presisjonsgradientkontroll

Hovedrollen til C/C Inner Guide Tube er å konstruere et presist gradient temperaturfelt. Under silisiumkrystallvekstprosessen er den plassert rett over smelten for å:

Direkte gassstrøm: Den styrer strømmen av inert argongass, og sikrer at silisiumoksid (SiO)-damper blir effektivt feid bort fra smelteoverflaten, og forhindrer oksygenforurensning i krystallen.

Termisk skjerming: Den skjermer den voksende krystallen fra direkte varmestråling fra smeltedigelens vegger, og etablerer den bratte aksiale temperaturgradienten som er nødvendig for høyhastighets, høykvalitets krystalltrekking.

Energieffektivitet: Ved å konsentrere varmen innenfor smeltesonen og isolere de øvre ovnskomponentene, reduseres det totale strømforbruket betydelig.

Tekniske spesifikasjoner og utmerket materiale

Våre indre styrerør er produsert med høy tetthetKarbon/karbon kompositter, som gir et overlegent alternativ til tradisjonell grafitt. Materialegenskapene er optimalisert for de ekstreme forholdene til halvledervakuumovner:

Tetthet: ≥ 1,35 g/cm³

Bøyestyrke: ≥ 110 MPa

Koeffisient for termisk ekspansjon (CTE): ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /K

Termisk ledningsevne (romtemperatur): ≤ 10 W/(m·K)

Industri

Etter hvert som industrien beveger seg mot større waferstørrelser (300 mm og 450 mm), øker kravene til det termiske feltet eksponentielt. Våre indre styrerør er kompatible med store CZ-ovnsmerker og kan tilpasses når det gjelder geometri og belegg.