Hvordan avanserte materialer løser 3 kritiske utfordringer i halvlederovn

Løpet om å krympe transistorstørrelser og skala solcelleeffektivitet skyver termisk prosessutstyr til sine grenser. Hos Semicorex har vi brukt to tiår på å samarbeide med ledende halvleder- og PV -produsenter for å adressere et tilbakevendende smertepunkt: Når standardmaterialer mislykkes under ekstreme forhold, kan hele produksjonsgrupper bli kompromittert.

CVD -belegg: rustningen for prosesskomponenter

Kjemisk dampavsetning (CVD) belegg som silisiumkarbid (SIC) og tantalkarbid (TAC) revolusjonerer komponentens levetid i tøffe miljøer:

Sic beleggFordeler:

Tåler temperaturer opp til 1.650 ° C i inerte atmosfærer

Reduserer partikkelforurensning i epitaksiale vekstreaktorer

Forlenger levetiden til grafittmasere med 3-5x

TAC -beleggI diffusjonsbarrierer:

Forhindrer smeltet silisiuminfiltrasjon i digler (99.999% renhetsretensjon)

Minimerer wafer warpage under hurtig termisk prosessering (RTP)

Når temperaturer overstiger 1600 ° C: CVD -beleggets fordel

Dette er ikke magi - det er materialvitenskap. Våre proprietære CVD-prosessinnsetter både SIC- og TAC-belegg med atomnivå presisjon, og skaper overflater som:

Motstå silisiumdampkorrosjon 3x lengre enn standard belegg

Oppretthold <0,5 um tykkelsesvariasjon på tvers av komplekse geometrier

Fjern belegg Delaminering selv under termisk sykling

Den stille krisen i termisk enhetlighet

I krystallvekstovner kan inkonsekvent temperaturfordeling gjøre en $ 250K silisiumgot til skrot. Gjennom materielle innovasjoner som:

Tetthetsgradert grafittfilt (0,18-0,25g/cm³ gradientdesign)

Karbon-karbon komposittisolatorer med <2% termisk ekspansjonsanisotropi

... Vi har hjulpet klienter med å oppnå:

✔ ± 1,5 ° C aksial temperaturenhet i 300 mm czochRalski -systemer

✔ 40% raskere kjølehastigheter uten å sprekke

Hvorfor kvarts renhet betyr mer enn noen gang

Når et Tier-1 MEMS-støperi sporet partikkeldefekter til deres etsningskammerforinger, vår boblefrie smeltede kvartsoppløsning:

Redusert metallforurensning med 89% (ICP-MS-analyse)

Utvidede forebyggende vedlikeholdsintervaller fra 3 til 8 måneder

Oppnådd 99.999% innledende renhet med <0.1ppb alkali metallinnhold

Utover spesifikasjoner: Søknadsteknikk saker

Mens tekniske spesifikasjoner gir baseline-sammenligninger, avhenger ytelsen i den virkelige verden av:

• Kobling av materialprosess - Hvordan komponenter samhandler med spesifikke kjemikalier (f.eks. Cl₂ vs. SF₆ Plasmas)

• Feilmodusbiblioteker - Vår database med 1200+ komponentfeil -tilfeller informerer materialvalg

• Tilpasset gradering - Justering av grafittporøsitet/konduktivitet på tvers av tverrsnitt

Semicorex tilbyr høy kvalitetTantal karbidbelagtogSilisiumkarbidbelagttilpassede deler. Hvis du har noen henvendelser eller trenger ytterligere detaljer, ikke nøl med å komme i kontakt med oss.

Kontakt telefon # +86-13567891907

E -post: sales@semicorex.com