Silisiumkarbid wafer båt

Bak hver høye temperaturprosess i Wafer-produksjonen ligger en stille, men likevel avgjørende aktør: skivebåten. Som kjernebærer som direkte kontakter silisiumskiven under skivenbehandlingen, er dens materiale, stabilitet og renslighet direkte relatert til den endelige brikkeutbyttet og prosessstabiliteten. Blant forskjellige bærermaterialer,silisiumkarbid (sic)Båter erstatter gradvis tradisjonelle kvartsløsninger, og blir den foretrukne løsningen for avanserte prosesser og high-end utstyr.

Hvorfor sic wafer -båter?

Med fremskritt av prosessnoder under 7nm og utvidelsen av høye temperaturprosessvinduer, sliter tradisjonelle kvartsbåter i økende grad når det gjelder termisk stabilitet, partikkelkontroll og levetidshåndtering.

Silisiumkarbidskivebåter får imidlertid gradvis prominens på grunn av følgende fordeler:

1. Stabil ved høye temperaturer:

De tilbyr langsiktige driftstemperaturer på 1350-1600 ° C, og håndterer lett mainstream-prosesser som CVD, diffusjon og annealing. Selv kort eksponering for temperaturer på 1800 ° C viser ingen mykgjøring eller deformasjon, noe som gjør dem egnet for avanserte utstyr som enkeltkrystallsilisiumkarbidovner.

2. Lav utvidelse og høy termisk sjokkstabilitet:

Med en lav termisk ekspansjonskoeffisient, tåler de raske temperaturøkninger og synker, og minimerer strukturell sprekker forårsaket av termisk spenning. De opprettholder utmerket morfologi og ytelse i høye temperaturer, komplekse atmosfærer (som hydrogen, nitrogen, ammoniakk og fluor).

3. Rengjør overflaten og ekstremt lav forurensning:

Høy materiell renhet med minimale metallforurensninger. Lav overflateuhet, og forhindrer sekundær forurensning av silisiumskiver; Utmerket overflateuhetskontroll, med RA under 0,1μm, undertrykker partikkel som kaster seg og oppfyller rentromskravene til avanserte prosesser;

4. On-Piece-støping, presisjonsmaskinerte skivebåtstrukturer kan dannes direkte gjennom moldfri3D -utskrift, eliminere behovet for muggsopp, noe som forbedrer tilpasningseffektiviteten betydelig; Kombinert med fem-akset maskinering og trådskjæringsteknologi er båtens tenner burrfrie, og forhindrer riper på skivene og sikrer jevn automatisert håndtering;

5. Høy styrke og lang levetid: 

En enkelt båt kan skilte med høy bærende styrke og kan samtidig støtte dusinvis til hundrevis av 12-tommers skiver. Sammenlignet med tradisjonelle kvartsbåter, er båtens gjennomsnittlige levetid 5-10 ganger lengre, noe som reduserer utskiftingsfrekvens for utstyr og totale eierkostnader.

Applikasjonsscenario

Den brede tilpasningsevnen tilsilisiumkarbid skivebåterutvider anvendelsen utover halvlederfeltet til en rekke prosessscenarier med høy temperatur, inkludert nytt energimaterialer, LED-produksjon og forskning på kjernefysisk energi.

Halvlederindustri

Det er egnet for nøkkelprosesser som oksidasjon, diffusjon, CVD-avsetning og ionimplantasjon, noe som gjør det til en uunnværlig bærer med høy temperatur for prosesslinjer under 7NM.

Fotovoltaisk industri

I nye batteriteknologier som TopCon og HJT, brukes skivebåter i ovnsprosesser med høy temperatur som LPCVD og annealing, noe som bidrar til å forbedre energieffektiviteten og konverteringsfrekvensene.

Tredje generasjons halvledere

For GaN- og SIC -epitaksiale vekstprosesser i lysdioder støtter de safir- eller silisiumkarbidsubstrater. De tåler etsende gasser som NH₃ og HCl, og støtter fremstilling av høyfrekvente strømenheter.

Nytt energimaterialer og forskningsplattform for høy temperatur

Støtter sintringsreaksjonen av litiumbatterikatodematerialer og varmebehandling av kjernefysiske industriens materialer, og kombinerer varmebestandighet, korrosjonsbestandighet og renslighet.

Semicorex tilbyr høy renhetTilpassede Sic Wafer -båter. Hvis du har noen henvendelser eller trenger ytterligere detaljer, ikke nøl med å komme i kontakt med oss.

Kontakt telefon # +86-13567891907

E -post: sales@semicorex.com