Hva er cantilever-padler?

Under behandling av halvlederskiver brukes spesialiserte ovner for å varme opp skivene. Disse ovnene inneholder langstrakte sylindriske rør hvor skivene er plassert på waferbåter på forhåndsbestemte og like avstandsposisjoner. For å sikre at prosessutstyret ikke sløser med wafere og for å tåle prosessforholdene i kammeret, er waferbåter og andre enheter som brukes i wafer-prosessering laget av materialer som silisiumkarbid (SiC).

Waferbåtene, lastet med et parti med wafere som skal behandles, er plassert på lange utkragede årer. Disse skovlene kan settes inn i og trekkes ut av de rørformede ovnene og reaktorene. Årene består av en flatet bæreseksjon som kan holde en eller flere båter og et langt håndtak plassert i den ene enden av den flate bæreseksjonen for enkel håndtering.

For de beste komponentene i halvlederprosessering anbefales det å bruke en utkragende padle laget av rekrystallisert silisiumkarbid med et CVD SiC tynt lag. Dette materialet er av høy renhet og er det beste valget for slike komponenter.

Semicorex produserer tilpassede cantilever-padler med høykvalitets CVD SiC-belegg. Hvis du har spørsmål eller trenger ytterligere detaljer, ikke nøl med å ta kontakt med oss.

Kontakt telefonnummer +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com