Hva er diffusjonsovnen?

En diffusjonsovn er et spesialisert utstyr som brukes til å introdusere urenheter i halvlederskiver på en kontrollert måte. Disse urenhetene, kalt dopingmidler, endrer de elektriske egenskapene til halvledere, slik at forskjellige typer elektroniske komponenter kan lages. Denne kontrollerte diffusjonsprosessen er kritisk for produksjonen av transistorer, dioder og integrerte kretser.

Diffusjonsovner består av flere nøkkelkomponenter, inkludert prosessrør, varmeelementer, luftinntaksmekanismer og kontrollsystemer. Prosessrøret fungerer som et kammer hvor waferen plasseres. Det tåler høye temperaturer og etsende gasser, noe som gjør det til et ideelt materiale for denne applikasjonen.

Varmeelementer gir den nødvendige varmen for å heve ovnstemperaturen til ønsket nivå. Temperaturer i diffusjonsovner er typisk så høye som 1200°C. For å sikre jevn oppvarming er varmeelementene ofte anordnet i spiralform.

En gassinntaksmekanisme brukes til å innføre dopinggass i ovnen. Vanlige dopingsmidler inkluderer bor, fosfor og arsen, avhengig av de ønskede elektriske egenskapene til det endelige halvlederproduktet. Et kontrollsystem regulerer strømmen av dopinggass, og opprettholder nøyaktig kontroll over diffusjonsprosessen.

Diffusjonsovner er mye brukt i halvlederindustrien. De brukes i dopingprosessen som skaper pn-kryss i transistorer og dioder. Diffusjonsovner spiller også en viktig rolle i fremstillingen av integrerte kretser, hvor flere lag med forskjellige halvledere er stablet og sammenkoblet.

Videre er diffusjonsovner essensielle for fremstilling av avanserte halvlederenheter som power MOSFETs (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistors) og Insulated Gate Bipolar Transistors (IGBTs). Disse enhetene er så viktige innen kraftelektronikk og fornybar energiteknologi at diffusjonsovner er integrert i produksjonen.

Diffusjonsovner er kritiske verktøy i halvlederproduksjon, som tillater kontrollert innføring av dopingstoffer i halvlederskiver. Disse ovnene er en integrert del av produksjonen av ulike halvlederenheter som transistorer, dioder og integrerte kretser. Etter hvert som teknologien skrider frem, fortsetter evnen til diffusjonsovner å øke, noe som muliggjør mer presise og pålitelige produksjonsprosesser. Halvlederindustrien er sterkt avhengig av disse ovnene for å møte den økende etterspørselen etter avansert elektronisk utstyr.

Semicorex produserer tilpassede SiC-deler for diffusjonsovner. Hvis du har spørsmål eller trenger ytterligere detaljer, ikke nøl med å ta kontakt med oss.

Kontakt telefonnummer +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com