Metoder for AlN-krystallvekst

AlN, som tredjegenerasjons halvledermateriale, er ikke bare et viktig blått lys og ultrafiolett lysmateriale, men også et viktig emballasje-, dielektrisk isolasjons- og isolasjonsmateriale for elektroniske enheter og integrerte kretser, spesielt egnet for høytemperatur- og høyeffektenheter . I tillegg har AlN og GaN en god termisk match og kjemisk kompatibilitet, AlN brukt som GaN epitaksialt substrat, kan redusere defekttettheten i GaN-enheter betydelig, forbedre enhetens ytelse.

På grunn av de attraktive applikasjonsutsiktene har utarbeidelsen av høykvalitets, store AlN-krystaller fått stor oppmerksomhet fra forskere i inn- og utland. For tiden fremstilles AlN-krystaller ved løsningsmetode, direkte nitrering av aluminiummetall, hydridgassfaseepitaksi og fysisk dampfasetransport (PVT). Blant dem har PVT-metoden blitt mainstream-teknologien for dyrking av AlN-krystaller med sin høye veksthastighet (opptil 500-1000 μm/t) og høye krystallkvalitet (dislokasjonstetthet under 103 cm-2).

Veksten av AlN-krystaller ved PVT-metoden oppnås ved sublimering, gassfasetransport og rekrystallisering av AlN-pulver, og vekstmiljøtemperaturen er så høy som 2 300 ℃. Det grunnleggende prinsippet for å dyrke AlN-krystaller ved PVT-metoden er relativt enkelt, som vist i følgende ligning:

2AlN(er) ⥫⥬ 2Al(g) ＋N2(g)

Hovedtrinnene i vekstprosessen er som følger: (1) sublimering av AlN-råpulver; (2) transport av gassfasekomponenter av råmaterialet; (3) adsorpsjon av gassfasekomponenter på vekstoverflaten; (4) overflatediffusjon og kjernedannelse; og (5) desorpsjonsprosess [10]. Under standard atmosfærisk trykk begynner AlN-krystaller å dekomponere sakte til Al-damp og nitrogen først ved ca. 1 700 ℃, og nedbrytningsreaksjonen av AlN intensiveres raskt når temperaturen når 2 200 ℃.

TaC-materialet er det ekte AlN-krystallvekstdegelmaterialet i bruk, med utmerkede fysiske og kjemiske egenskaper, utmerket termisk og elektrisk ledningsevne, kjemisk korrosjonsbestandighet og god termisk sjokkmotstand, som effektivt kan forbedre produksjonseffektiviteten og levetiden.

Semicorex tilbyr høy kvalitetTaC-beleggproduktermed tilpasset service. Hvis du har spørsmål eller trenger ytterligere detaljer, ikke nøl med å ta kontakt med oss.

Kontakt telefonnummer +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com