Belegg i det termiske feltet av halvleder silisium enkeltkrystaller

De belagte delene i halvledersilisium enkrystall varmt felt er generelt belagt med CVD-metoden, inkludert pyrolytisk karbonbelegg,SilisiumkarbidbeleggogTantalkarbidbelegg, hver med forskjellige egenskaper.

Vanlige punkter: underlaget er isostatisk grafitt med høy renhet, vanligvis mindre enn 5 ppm aske; belegg brukes CVD-metoden; belegget er i utgangspunktet 100 % karbon eller silisiumkarbid; etter belegging av overflaten er relativt tett, gassen, spesielt ovnens silisiumdamp eller silisiumoksydgassen kan i utgangspunktet blokkeres; sin egen støvfordampning er også svært liten.

Forskjeller: standardtykkelsen på belegget, pyrolytisk karbonbelegg er vanligvis omtrent 40um; Silisiumkarbidbelegg gjøres vanligvis rundt 100um, men i henhold til kundenes forskjellige behov, kan det gjøres 30um~150um, inkludert ett belegg og to belegg; tantalkarbidbelegg er generelt 35±15um.

Pyrolytisk karbonbelegg, dens tetthet tilsvarer den for ikke-porøs grafitt, som er omtrent 2,2. Den har lav resistivitet og høy termisk ledningsevne i parallell retning av overflaten, slik at den kan holde konsistensen til overflatetemperaturen, og den har også en lav termisk ekspansjonskoeffisient og høy elastisitetsmodul. I vinkelrett retning av overflaten er varmeutvidelseskoeffisienten større og varmeledningsevnen lavere.

For silisiumkarbidbelagte produkter er elastisitetsmodulen til belegget veldig høy, titalls ganger høyere enn elastisitetsmodulen til det indre grafittsubstratet, så for å unngå produktbrudd, må det håndteres forsiktig.

Pyrolytisk karbonbelegg og silisiumkarbidbelegg av alt urenhetsinnholdet er mindre enn 5 ppm, hvor hovedmetallinnholdet er mindre enn 0,1 eller 0,01 ppm, jo ​​vanskeligere å håndtere borelementet er 0,01 eller 0,15 ppm.

Semicorex tilbyr høykvalitets CVD-beleggsprodukt for halvledere med tilpasset service. Hvis du har spørsmål eller trenger ytterligere detaljer, ikke nøl med å ta kontakt med oss.

Kontakt telefonnummer +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com