Betydningen av porøse grafittmaterialer for SiC-krystallvekst

Semicorex sin SiC krystallvekstovnskomponent, denporøs grafittfat, vil gi tre store fordeler og kan effektivt styrke konkurranseevnen til innenlandskSiC-substrater:

• Reduser kostnadene for SiC-krystallvekstkomponenter;
• Øk tykkelsen på SiC-krystall og reduser de totale kostnadene for underlaget;
• Forbedre SiC-krystallutbyttet og forbedre bedriftens konkurranseevne.

Å legge til porøse grafittplater til SiC-krystallvekstovner er en av hot spots i industrien. Det er bevist at ved å sette inn enporøs grafittark over SiC-kildepulveret, oppnås god masseoverføring i krystallområdet, noe som kan forbedre ulike tekniske problemer som eksisterer i tradisjonelle krystallvekstovner.

(a) Tradisjonell krystallvekstovn, (b) Krystallvekstovn med porøs grafittplate

Kilde: Dongui University, Sør-Korea

Eksperimenter har vist at ved bruk av tradisjonelle krystallvekstovner har SiC-substrater vanligvis forskjelligepolymorfer, slik som 6H og 15R-SiC, mensSiC-substratertilberedt ved bruk av porøse grafittbaserte krystallvekstovner kun har4H-SiC monokrystall. Dessuten er mikrorørstettheten (MPD) og etsegroptettheten (EPD) også betydelig redusert. MPD for de to krystallvekstovnene er henholdsvis 6-7EA/cm2 og 1-2EA/cm2, som kan væreredusert med opptil 6 ganger.

Semicorex har også lansert en ny "engangs masseoverføring"-prosess basert påporøse grafittplater. Porøs grafitt har veldig godrenseevne. Den nye prosessen bruker et nytt termisk felt for primær masseoverføring, noe som gjør masseoverføringseffektiviteten forbedret og i utgangspunktet konstant, og dermed redusere virkningen av rekrystallisering (unngå sekundær masseoverføring), og effektivt redusere risikoen for mikrotubuli eller andre tilknyttede krystalldefekter. I tillegg er porøs grafitt også en av kjerneteknologiene for å løse problemet med SiC-krystallvekst og -tykkelse, fordi det kan balansere gassfasekomponentene, isolere sporforurensninger, justere lokal temperatur og redusere fysiske partikler som karboninnpakning. På forutsetningen om at krystallen kan brukes,tykkelsen på krystallkan reduseres. kan øke betydelig.

Tekniske egenskaper vedSemicorex porøs grafitt:

Porøsiteten kan nå opptil 65 %;

Porene er jevnt fordelt;

Høy batchstabilitet;

Høy styrke, kan nå ≤1 mm ultratynn sylindrisk form.

Semicorex tilbyr høy kvalitetporøs grafittdeler. Hvis du har spørsmål eller trenger ytterligere detaljer, ikke nøl med å ta kontakt med oss.

Kontakt telefonnummer +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com