Ulike anvendelser av kvarts i halvlederproduksjon

Ved første øyekast,kvarts (SiO2) materialeligner veldig på glass, men det spesielle er at vanlig glass er sammensatt av mange komponenter (som kvartssand, boraks, borsyre, baritt, bariumkarbonat, kalkstein, feltspat, soda osv.), mens kvarts kun inneholder SiO2, og dets mikrostruktur er et enkelt nettverk sammensatt av silisiumdioksid tetraedriske strukturelle enheter.

Fordi mengden metallurenheter som finnes ikvartser svært liten og renheten er ekstremt høy, kvarts i seg selv har egenskaper og fordeler som andre glass ikke kan vise, og er kjent som "kronen" av glassmaterialer. For eksempel når det gjelder varmebestandighet, vil ikke kvarts eksplodere selv om den umiddelbart legges i vann etter å ha blitt rødbrent i brannen. Mer spesifikke fordeler er som følger:

1. Høy temperatur motstand. Mykningspunktet til kvartsglass er omtrent 1730 ℃, og det kan brukes i lang tid ved 1150 ℃, og den maksimale temperaturen kan nå 1450 ℃ i kort tid.

2. Korrosjonsbestandighet. Bortsett fra flussyre har høyren kvarts nesten ingen kjemisk reaksjon med andre sure stoffer. Ved høye temperaturer kan den motstå korrosjon fra svovelsyre, salpetersyre, saltsyre, vannvann, nøytrale salter, karbon og svovel. Syrebestandigheten er 30 ganger høyere enn for keramikk og 150 ganger høyere enn for rustfritt stål. Spesielt dens kjemiske stabilitet ved høye temperaturer er uovertruffen av andre tekniske materialer.

3. God termisk stabilitet. Kvarts med høy renhet har en svært liten termisk ekspansjonskoeffisient og tåler drastiske temperaturendringer. Når høyrent kvarts varmes opp til ca. 1100°C, vil den ikke eksplodere når den plasseres i romtemperatur vann.

4. God lysgjennomgang. Kvarts med høy renhet har god lystransmittans i hele spekteret fra ultrafiolett til infrarødt, og den synlige lystransmittansen er over 93%, spesielt i det ultrafiolette spektrumområdet, kan maksimal transmittans nå mer enn 80%.

5. God elektrisk isolasjonsytelse. Motstandsverdien til høyrent kvarts tilsvarer 10 000 ganger den for vanlig kvartsglass. Det er et utmerket elektrisk isolasjonsmateriale og har gode elektriske egenskaper selv ved høye temperaturer.

Takket være disse utmerkede fysiske og kjemiske egenskapene er kvartsmaterialer med høy renhet mye brukt i moderne elektronisk teknologi, halvledere, kommunikasjon, elektriske lyskilder, solenergi, høypresisjons nasjonale forsvarsmåleinstrumenter, fysiske og kjemiske laboratorieinstrumenter, kjerneenergi, nano-industri, etc. Spesielt i den raskt utviklende halvlederindustrien har omfanget av silisiumskiver økt, så brikkeprodusenter har stor etterspørsel etter ulike kvartskomponenter. Det bør imidlertid også bemerkes at for å forhindre forurensning under prosessprosessen, må den høye renheten til kvartsmaterialet sikres under bruk.

I halvlederindustrien,kvartser mye brukt, og høyrente kvartsprodukter er viktige forbruksvarer i waferproduksjon. Kvartsdeler som digler, krystallbåter og kjernerør i diffusjonsovn som brukes til å produsere silisiumenkelkrystaller, må bruke kvartsglassprodukter med høy renhet. Hovedmålmarkedet for bruk av kvartsdeler i halvlederfeltet er diffusjons- og etseprosessen i waferstøperi. De kan deles inn i to kategorier: høytemperatursoneenheter og lavtemperatursoneenheter. De viktigste enhetene som brukes er som følger:

1. Høytemperatursoneenheter er hovedsakelig ovnsrør, glassbåter osv. som brukes i diffusjonsoksidasjon og andre ledd, som må være direkte eller indirekte i kontakt med silisiumskiver i et miljø med høy temperatur; de er hovedsakelig kjøpt smeltede kvartsglassmaterialer og produsert gjennom termisk prosessering;

2. Lavtemperatursoneenheter inkluderer hovedsakelig kvartsringer som brukes i etseprosessen, samt blomsterkurver og rensetanker som brukes i renseprosessen. De brukes hovedsakelig i miljøer med lav temperatur. De kjøper hovedsakelig gassraffinert kvartsglass og produseres gjennom kald prosessering.

Semicorex tilbyr høy kvalitetkvarts delerpå halvledernivå. Hvis du har spørsmål eller trenger ytterligere detaljer, ikke nøl med å ta kontakt med oss.

Kontakt telefonnummer +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com