Glødeprosesser i moderne halvlederproduksjon

Ettersom teknologinoder fortsetter å krympe, byr dannelsen av ultragrunne veikryss til betydelige utfordringer. Termiske glødeprosesser inkludertRask termisk gløding (RTA)og flash lamp annealing (FLA) er viktige teknikker som opprettholder høye aktiveringshastigheter for urenheter samtidig som diffusjon minimeres, og sikrer optimal enhetsytelse.

1. Ultra-Shallow Junction Formation:

Etter hvert som teknologinoder krymper, blir det stadig mer utfordrende å danne ultragrunne veikryss. Teknikker som rask termisk gløding (RTA) og flash lamp annealing (FLA) er avgjørende for å oppnå høye aktiveringshastigheter for urenheter og samtidig minimere diffusjon, og dermed sikre optimal enhetsytelse.

2. Modifikasjon av High-k Gate Dielectrics:

Post-deposition annealing (PDA) forbedrer de elektriske egenskapene til high-k gate dielektrikum betydelig. Denne prosessen reduserer portlekkasjestrømmer og øker dielektriske konstanter, som er avgjørende for avansert logikk og minneenheter.

3. Dannelse av metallsilicider:

Optimalisering av metallsilicider, som CoSi og NiSi, er avgjørende for å forbedre kontakt- og bulkmotstanden. Nøyaktig kontroll over glødeforholdene gjør det lettere å lage ideelle legeringsfaser, noe som øker enhetens samlede effektivitet.

4. 3D-integrasjonsteknologier:

I teknologier som 3D NAND og 3D DRAM, må glødeprosesser brukes på tvers av flere lag. Raske termiske teknikker spiller en nøkkelrolle for å sikre at hvert lag oppnår optimal ytelse.

Gløding er kritisk i halvlederproduksjon, noe som muliggjør reparasjon av gitterskader, aktivering av urenheter, filmmodifisering og metallsilisiddannelse gjennom presis kontroll av temperatur, tid og termiske budsjetter. Etter hvert som teknologinoder krymper, vil avanserte utglødningsmetoder somRTA, FLA og laser spike annealing har blitt mainstream. Ser vi fremover, vil glødeprosessen fortsette å være nyskapende for å møte kravene til nye materialer og enheter.

Semicorex tilbyr bransjeledendeglødeløsninger, som sikrer at halvlederenhetene dine oppfyller de høyeste ytelsesstandardene med presisjon og pålitelighet.

Hvis du har spørsmål eller trenger ytterligere detaljer, ikke nøl med å ta kontakt med oss.

Kontakt telefonnummer +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com