MOCVD er nøkkelutstyret

MOCVD-utstyr er nøkkelutstyret i produksjonsprosessen til halvlederindustrien, men også en stor andel av utstyrsinvesteringene i halvlederindustrikjeden (tre kjerneprosesser og utstyr: litografi, etsing, tynnfilmavsetning), LED-produksjonslinjeinvestering, MOCVD investeringsbeløpet kan utgjøre opptil 50 %. I CVD-utstyr kan ikke substratet plasseres direkte på metallet eller bare plasseres på toppen av en base for epitaksial avsetning, fordi det involverer påvirkning av ulike faktorer som gassstrømretning (horisontal, vertikal), temperatur, trykk, fiksering , fjerner forurensninger. Derfor brukes en base og substratet plasseres på en skive og deretter utføres epitaksial avsetning på toppen av substratet ved hjelp av CVD-teknologi. Denne basen er SiC-belagt grafittmottaker(som også kan kalles entransportør), og strukturen er vist i figuren nedenfor.