Presisjons keramiske deler er viktige komponenter av kjerneutstyr i viktige prosesser for halvlederproduksjon, for eksempel fotolitografi, etsning, tynnfilmavsetning, ionimplantasjon, CMP, etc., for eksempel lagre, føringsskinner, foringer, elektrostatiske chuck, mekaniske håndteringsarmer, etc.
Les merI frontend-prosessen (FeOL) for halvlederproduksjon, må skiven bli utsatt for forskjellige prosessbehandlinger, spesielt skiven må varmes opp til en viss temperatur, og det er strenge krav, fordi temperaturens enhetlighet har en veldig viktig innvirkning på produktutbyttet; Samtidig må halvlederutst......
Les mer