Ved å nøyaktig regulere oppvarmings- og kjøleprofiler, kan glødeprosessen aktivere dopingatomer, reparere gitterskader, lindrer indre stress og forbedrer den elektriske påliteligheten til wafere. Disse kritiske ytelsesforbedringene legger et solid grunnlag for påfølgende wafer-behandling, og fungere......
Les merKeramiske vakuumchucker er verktøy som brukes til å klemme og bære halvlederwafere i produksjon av halvlederwafere. De har høy flathet og parallellitet, tett og jevn struktur, høy styrke, god luftpermeabilitet, jevn adsorpsjonskraft og enkel trimming. De er egnet for prosesser som tynning, skjæring,......
Les merKjernemålet er å oppnå jevnhet i waferoverflatetemperatur (≤±0,5–5 ℃) og temperatur/strømningsfeltstabilitet, og derved forbedre jevnheten i epitaksial lagtykkelse (<3%), doping uniformity (<8%), reducing defect density, and increasing growth rate (>60 μm/t).
Les merC/C-kompositter har mange utmerkede egenskaper og er for tiden de eneste komposittmaterialene som er i stand til å operere ved høye temperaturer over 2600°C i inerte atmosfærer, noe som gjør dem allment anvendelige i romfart, våpen, kjernekraft, metallurgi og kjemisk industri.
Les merSom det uunnværlige substratmaterialet i den banebrytende halvlederindustrien, viser silisiumkarbidskiver utmerkede termiske og elektriske egenskaper, og kan skilte med brede bruksmuligheter innen høytemperatur, høyfrekvente, høyeffekts og strålingsbestandige integrerte elektroniske enheter.
Les merKombinasjonen av myk filt og stiv/stiv filt innebærer i hovedsak å balansere tre ting: varmeledning (faststoff/gassfase), strålingsvarmeoverføring og struktur og montering. Fokus på kun én indikator (som den laveste varmeledningsevnen ved høye temperaturer) vil vanligvis føre til problemer på område......
Les mer