Tørretsing er en hovedteknologi i produksjonsprosessene til mikro-elektromekaniske systemer. Ytelsen til tørretsingsprosessen har en direkte innflytelse på den strukturelle presisjonen og operasjonelle ytelsen til halvlederenheter. For nøyaktig å kontrollere etseprosessen, må man være nøye med følge......
Les merSilisiumkarbid aerostatisk glidebane er et avansert føringsveisystem som kombinerer materialegenskapene til silisiumkarbid og aerostatisk teknologi. Tjeneste som den optimale løsningen for høypresisjon, høy pålitelighet og langsiktige bevegelsessystemer, er silisiumkarbid aerostatisk glidebane mye b......
Les merDen vanlige metoden for fremstilling av enkeltkrystaller av silisiumkarbid er den fysiske damptransportmetoden (PVT). Denne metoden består hovedsakelig av et hulrom i kvartsrør, et varmeelement (induksjonsspole eller grafittvarmer), isolasjonsmateriale av grafittkarbonfilt, en grafittdigel, en frøkr......
Les merSOI, forkortelse for Silicon-On-Insulator, er en produksjonsprosess for halvledere basert på spesielle substratmaterialer. Siden industrialiseringen på 1980-tallet har denne teknologien blitt en viktig gren av avanserte produksjonsprosesser for halvledere. SOI-prosessen kjennetegnes ved sin unike tr......
Les merDen elektrostatiske chucken utfører flere funksjoner som jevn elektrostatisk utladning, varmeledning og waferadsorpsjon og fiksering innen halvlederproduksjon. En av kjernefunksjonene til ESC er å stabilt adsorbere wafere under ekstreme driftsforhold som høyt vakuum, sterkt plasma og et bredt temper......
Les mer