Silisiumkarbidkeramikk er blant de mest brukte materialene i strukturell keramikk. På grunn av deres relativt lave termiske ekspansjon, høye spesifikke styrke, høye termiske ledningsevne og hardhet, slitestyrke og korrosjonsmotstand, og viktigst av alt, deres evne til å opprettholde god ytelse selv ......
Les merHalvledermaterialer er materialene med elektrisk ledningsevne mellom ledere og isolatorer ved romtemperatur, som er mye brukt i felt som integrerte kretser, kommunikasjon, energi og optoelektronikk. Med utviklingen av teknologien har halvledermaterialer utviklet seg fra første generasjon til fjerde ......
Les merFokusringer er de essensielle komponentene for å sikre jevnheten og stabiliteten til halvlederetseprosessene. Gjennom presis kontroll av elektriske og termiske felt kan fokusringer konsentrere plasma på waferoverflaten, og sikre konsistente etseresultater på tvers av alle steder på waferen.
Les merSilisiumkarbid har god kjemisk stabilitet og tåler ulike sterkt etsende sure og alkaliske medier, noe som gjør den egnet for mekaniske tetninger i etsende medier. Korrosiv slitasje er en stor form for svikt for friksjonsparmaterialer. Varmpresset sintret silisiumkarbid danner en beskyttende silisium......
Les merPartikkeldefekter refererer til de små partikkelinneslutningene inne i eller på halvlederplatene. De kan skade den strukturelle integriteten til halvlederenheter og forårsake elektriske feil som kortslutninger og åpne kretsløp. Siden disse problemene forårsaket av partikkeldefekter alvorlig kan påv......
Les merVertikale ovner er vertikalt plasserte høytemperaturoppvarmingsanordninger spesielt designet for varmebehandling av halvlederproduksjon. Det komplette vertikale ovnssystemet består av det høytemperaturbestandige ovnsrøret, varmeelementet, temperaturkontrollsystemet, gasskontrollsystemet og waferstøt......
Les mer