PBN komposittvarmere

Semikorex PBN komposittvarmere smelter sammen den utmerkede termiske ledningsevnen til pyrolytisk grafitt med den kjemiske inertnessen og elektrisk isolasjon av pyrolytisk bornitrid. Disse varmeovnene er bygget av en veldig høy renhetsgrafitt og PBN som brukes ved hjelp av en CVD (kjemisk dampavsetning) -prosess under høye renhetsavsetningsbetingelser. Hvert individuelle prestasjonslag er blitt avsatt med veldig ekstrem kontrollerbarhet for å sikre ultrahøy renhet og konsistente termiske egenskaper. Grafittkjernen, som gir rask og jevn oppvarming gjennom, er beskyttet mot oksidasjon og forurensning av PBN -kapselen; Dette gjør varmeapparatet ideelt for vakuumgassmiljøer og inerte gassmiljøer. Disse PBN -varmeovnene er målrettet designet for bruk i MBE (Molecular Beam Epitaxy) reaktorer, CVD -reaktorer og andre krystallvekstsystemer.

Den pyrolytiske bornitrid-pyrolytiske grafitt (PBN-PG) komposittvarmeren er en varmeovn som bruker høy-isolasjon PBN som underlaget og bruker lavt trykk termisk dekomponering av kjemisk dampavsetning (CVD) ved lavt trykk (under 10 Torr) og høy temperatur for å belegge tilbehøret. Hovedkomponentene i denne sammensatte varmeovn er pyrolytisk bornitrid (PBN) og pyrolytisk grafitt (PG). På grunn av sin utmerkede korrosjonsbestandighet og høye temperaturmotstand, brukes den hovedsakelig til halvlederunderlagsoppvarming (brukt i MBE, MOCVD, sputringbelegg, etc.); Superleder underlagsoppvarming; prøveoppvarming under prøveanalyse; elektronmikroskopprøveoppvarming; metallvarme; Metallfordampning Oppvarmingskilde, etc.

PBN -varmeovnene tåler driftstemperaturer på opptil 1600 ° C i vakuum og har en forbedret evne til å motstå termisk sjokk over metallbaserte alternativer du vil stole på. Overflaten på varmeren er ekstremt jevn og tett og produserer betydelig mindre partikler under drift som er kritisk for anvendelser der forurensning ikke kan tolereres, for eksempel prosessering av halvleder.

Den sammensatte strukturen gir utmerket termisk enhetlighet over varmeoverflaten, og dens resistive stier kan tilpasses for å gi rom for en skreddersydd varmefordeling. Denne designen muliggjør raske ramp-up og cooldown-sykluser under prosessering uten sprekker og delaminering på grunn av de samme termiske ekspansjonskoeffisientene til de brukte materialene. Elektrodene er i stand til å motstå kontinuerlig høy strømoperasjon og er også kompatible i vakuum.

Semicorex gir ubegrenset designfleksibilitet for unike former, størrelser og strømbehov når det er nødvendig for å tilfredsstille spesifikke applikasjonsbehov; Enten det er for standard skivestørrelser, eller mer komplekse geometrier, garanterer vi dimensjons nøyaktighet og termisk enhetlighet i hver produsert enhet.

PBN komposittvarmere er perfekte for ultra-rene applikasjoner, inkludert:

• MBE-systemer for III-V og II-VI sammensatt halvlederbehandling
• Vakuumbeleggingssystemer for optiske komponenter
• Krystallvekstsystemer for safir og sic
• Termisk prosessering med høy renhet for miljøer for forskning og utviklingslaboratorium.