PBN Crucibles

Semikorex pyrolytisk bornitrid PBN Crucibles er presisjons-konstruerte komponenter designet for å oppfylle de strenge kravene til høye temperatur- og ultra-pure-prosesser i bransjer som halvlederproduksjon, krystallvekst og vakuumanvendelser. PBN -diglering av den kjemiske dampavsetningen (CVD) -prosessen, og tilbyr overlegen renhet, eksepsjonell termisk stabilitet og enestående kjemisk inertness, noe som gjør dem til det valgte materialet i avansert materialteknikk.

Siden bornitrid har en termisk ekspansjonskoeffisient som kan sammenlignes med kvarts, men dens termiske ledningsevne er 10 ganger den for sistnevnte, har den utmerket termisk støtmotstand, noe som kan redusere risikoen for sprekker på grunn av raske temperaturendringer, og kan sykes flere ganger ved 20 ~ 1200 ℃ uten problemer. I tillegg reagerer ikke bornitrid med syrer, alkalier, glass og de fleste metaller, og har lav mekanisk styrke, bare litt høyere enn grafitt, men mykner ikke under belastning ved høye temperaturer, og kan behandles av generelle metallbehandlingsmaskiner. Derfor er det faktisk egnet for bruk som en digel, kar, flytende metallleveringsrør og mugg for støpe støpe for smelting og fordampende metaller.

Det er vanligvis laget av kjemisk dampavsetning ved bruk av borholdige gass (BCL3 eller B2H6) som råstoff, men fordi B2H6 er svært giftig, brukes BCL3 for tiden som råstoff. Den borholdige gassen gjennomgår pyrolyse (1500 ~ 1800 ℃) og reagerer med NH3 i et reaksjonskammer med høy temperatur for å danne fast bornitrid. Fordi pyrolyse oppstår under reaksjonen, kalles det ogsåPyrolytisk bornitridCrucible (ofte kjent som PBN Crucibles).

Vekstprosessen til materialet ligner på "Falling Snow", det vil si at de sekskantede BN -snøfnuggene som er dyrket i reaksjonen, blir stadig stablet på det oppvarmede grafittsubstratet (kjerneform). Når tiden går, tykner akkumuleringslaget og danner et PBN -skall. Demolding er en uavhengig, ren PBN -komponent, og PBN -belegget er igjen på den. Siden PBN -diglene ikke trenger å gå gjennom den tradisjonelle varme pressende sintringsprosessen og ikke trenger å legge til noe sintringsmiddel, har den en veldig høy renhet (mer enn 99,99%), og driftstemperaturen under vakuum er så høy som 1800 grader, og driftstemperaturen under atmosfære kan nå opp til 2100 ° C (vanligvis nitrogen. Det brukes mest i fordampning/molekylær strålepitaxy (MBE)/GaAs krystallvekst og andre formål.