PBN -varmeapparat

Semicorex pyrolytisk bornitrid PBN-varmeapparat er en høy-renhet, høyytelsesoppvarmingskomponent designet for krevende applikasjoner der ultra-rengjørte, kjemisk stabile og termisk effektive materialer er essensielle. PBN er produsert gjennom en kjemisk dampavsetning (CVD) -prosess, og viser eksepsjonell termisk ledningsevne, høye temperaturresistens og enestående kjemisk inerthet, noe som gjør det til det ideelle valget for halvlederbehandling, krystallvekst og vakuumapplikasjoner.

PBN-varmeapparatet er en varmeovn som bruker sterkt isolerende PBN som et underlag og bruker lavtrykks termisk nedbrytning av kjemisk dampavsetning (CVD) for å belegge ledende PG ved lavt trykk (under 10Torr) og høy temperatur. Hovedkomponentene i denne sammensatte varmeovn er pyrolytisk bornitrid (PBN) og pyrolytisk grafitt (PG). På grunn av sin utmerkede korrosjonsbestandighet og høye temperaturmotstand, brukes den hovedsakelig til halvlederunderlagsoppvarming (brukt i MBE, MOCVD, sputringbelegg, etc.); Superleder underlagsoppvarming; prøveoppvarming under prøveanalyse; elektronmikroskopprøveoppvarming; metallvarme; Metallfordampning Oppvarmingskilde, etc.

PBN er inert til etsende gasser; har høy renhet (større enn 99,99%); våter ikke eller reagerer med de fleste smeltede metaller (det har egenskapene til en ikke-pinnepanne, og metallet kan brukes 100%); har god høye temperaturmotstand (den maksimale driftstemperaturen er 2000 ℃); god tetthet; God termisk sjokkmotstand og andre utmerkede egenskaper gjør det til et ideelt materiale for å fremstille PBN-PG komposittvarmere. PG kan raskt varmes opp til 1600 ℃ (i en inert atmosfære og under vakuum) i en PBN -varmeapparat. Samtidig, kombinert med den gode termiske konduktiviteten til PBN, har varmeoverflaten god varmeenhet. Med den raske utviklingen av relaterte næringer har også etterspørselen etter PBN-PG sammensatte varmeovner økt raskt.

PBN -varmeovner kan fremstilles i en rekke former og konfigurasjoner for å oppfylle spesifikke design- og integrasjonskrav. Typiske design inkluderer planvarmere, rørformede varmeovner og tilpassede geometrier med innebygde eller overflatemonterte varmeelementer. Varmeelementene er vanligvis laget av pyrolytisk grafitt (PG) og innkapslet i PBN, og gir en fullstendig forseglet, elektrisk isolerende og termisk effektiv struktur.